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詳細介紹
產(chǎn)品特點
· 支持薄片退火 · 優(yōu)秀的退火表面形貌和電學特征
· 10-5Ωcm2量級的比接觸電阻率
· 高效率、低成本控制
· I F 值提高 30% 以上 · 完整的全程監(jiān)控反饋功能
應用產(chǎn)品類型
技術(shù)指標
| 項目 | LA2540S | LA2550S |
| 晶圓尺寸 | 4/6 Inch 兼容 | |
| 典型掃描時間 | 180 sec/p @4 inch | 90 sec/p @4 inch |
| 激光能量密度 | ≥ 5J/cm2 | |
| 激光輸出穩(wěn)定性 | ≤ 2%，RMS，4hrs | |
| 比電阻接觸率 | ≤ 10 -5Ωcm2 | |
| 自動傳片系統(tǒng) | 雙 LoadPort、多關(guān)節(jié)機器手、預準直器 | |
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