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詳細(xì)介紹
奈米深度3D形狀顯微檢測儀 1510MSSWIM白光干涉儀使用說明書下載
1. 奈米深度3D檢測
2. 高速／無接觸量測
3. 表面形狀／粗糙度分析
4. 非透明／透明材質(zhì)適用
5. 非電子束／非雷射的安全量測
奈米3D顯微形貌快速呈現(xiàn)
SWIM系列掃描白光干涉儀結(jié)合Carmar公司的相移垂直掃描的技術(shù)與顯微光干涉技術(shù)，不需要復(fù)雜光路調(diào)整程序，即可在非接觸、無破壞、普通大氣環(huán)境下完成3D奈米深度的表面檢測分析，不僅提供3D表面形狀和表面紋理的分析，更可提供鏡面表面的奈米級(jí)粗糙度和臺(tái)階高度分析， 并追溯至ISO國際規(guī)范。
SWIM系列掃描白光干涉儀結(jié)合Carmar公司的相移垂直掃描的技術(shù)與顯微光干涉技術(shù)，不需要復(fù)雜光路調(diào)整程序，即可在非接觸、無破壞、普通大氣環(huán)境下完成3D奈米深度的表面檢測分析，不僅提供3D表面形狀和表面紋理的分析，更可提供鏡面表面的奈米級(jí)粗糙度和臺(tái)階高度分析， 并追溯至ISO國際規(guī)范。
SWIM系列掃描白光干涉顯微檢測儀，具有*的測量能力，可在幾秒內(nèi)就完成整個(gè)視場的掃描，得到測量樣品的3D圖形與高度數(shù)據(jù)，檢測速度與深度量測能力優(yōu)于逐點(diǎn)逐面掃描的共焦掃描顯微鏡，3D圖形量測能力又優(yōu)于掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測能力，且不需要使用電子束或雷射，開機(jī)快又安全。
無論是拋光面，還是粗糙面，甚至是透明材質(zhì)，只要有超過1%以上的反射率就能夠被檢測。 SWIM系列顯微檢測儀適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測，應(yīng)用領(lǐng)域包含：
1. 玻璃鏡片
2. 鍍膜表面
3. 晶圓（Wafer）
4. 光盤／硬盤（DVD Disk／Hard Disk）
5. 微機(jī)電組件 （MEMS Components）
6. 平面液晶顯示器（LCD）
7. 高密度線路印刷電路板（ HDI PCB ）
8. IC封裝（ IC Package）
9. 精密微機(jī)械組件（Micro Mechanical Parts）
10. LED基板表面微圖案結(jié)購 (LED Subtract Micro-pattern)
11. 以及其它材料分析與組件微表面研究。
相移垂直掃描技術(shù)，使深度分辨率達(dá)0.1nm
SWIM系列顯微檢測儀提供Z軸掃描分辨率0.1nm，平面空間分辨力0.61nm(50X物鏡)的量測能力，達(dá)12μm/s的垂直掃描速度，所具有的奈米3D顯微形貌快速呈現(xiàn)能力是科研、研發(fā)、生產(chǎn)品檢時(shí)所的工具。
機(jī)臺(tái)規(guī)格 (以下為標(biāo)準(zhǔn)機(jī)臺(tái)規(guī)格, 另可依客戶需求增加電動(dòng)平臺(tái)或自動(dòng)對(duì)焦模塊)
型號(hào) | 標(biāo)準(zhǔn)型 SWIM 1510MS | |||||
| 顯示器主架構(gòu) | 顯微鏡本體1X | |||||
物鏡放大倍率 | 10X | 20X | 50X | |||
觀察與量測范圍 長X 寬 mm |
| 0.43 X 0.32 | 0.21 X 0.16 | 0.088 X 0.066 | ||
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光學(xué)分辨率 (mm) | 1.12 | 0.84 | 0.61 | |||
工作距離 (mm) | 7.4 | 4.7 | 3.4 | |||
量測用光學(xué)系統(tǒng) | 白光干涉顯微光學(xué)系統(tǒng) | |||||
高度測量 | 測量范圍 | 100 mm ( 400 mm, 選配) | ||||
量測分辨率 | 0.1 nm | |||||
重復(fù)精度(σ) (1) | ≦ 0.1 % ( 量測高度： > 10 m m) ≦ 10 nm ( 量測高度：1 m m ~ 10 m m) ≦ 5 nm ( 量測高度： <1 m m ) | |||||
量測控制 | 自動(dòng) | |||||
掃瞄速度 (mm ／s) | 12 （） | |||||
觀察與量測用光源 | 光源類型 | 儀器用鹵素光源 | ||||
平均使用壽命 | 1000小時(shí) | |||||
光強(qiáng)度調(diào)整 | 自動(dòng) ／手動(dòng) | |||||
取像單元 | 影像傳感器 | 黑白 CCD數(shù)位攝像機(jī) | ||||
傳感器分辨率 |
| 640 x 480 像素 | ||||
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樣品移動(dòng)平臺(tái) | 觀察移動(dòng)平臺(tái) | 行程 | 150 mm x 100 mm, 手動(dòng) | |||
載重 | 大于 10 kg | |||||
Z 軸移動(dòng)范圍 | 80 mm，手動(dòng) | |||||
位置數(shù)字顯示單元 | 三軸光學(xué)尺與三軸數(shù)字顯示器 (分辨率1 mm) | |||||
傾斜調(diào)整平臺(tái) | 手動(dòng) | |||||
底座 | 花崗巖 | |||||
數(shù)據(jù)處理與顯示用計(jì)算機(jī) | 處理運(yùn)算單元 | 雙核心CPU | ||||
影像與數(shù)據(jù)顯示屏幕 | 17" 液晶屏幕 | |||||
存儲(chǔ)裝置 | 160 GB 以上硬盤機(jī) | |||||
操作系統(tǒng) | WindowsXP (2) | |||||
電源 | AC110V ／220V ，50Hz ／60Hz | |||||
重量 | 約150 kg (含花崗巖底座) | |||||
分析軟件 | WindowsXP 兼容的影像擷取與分析軟件, 包含 ISO 粗糙度/階高分析,快速傅利葉轉(zhuǎn)換和濾波, 多樣的 2D和 3D 觀測視角圖, 外形／面積／體積分析, 圖像縮放, 標(biāo)準(zhǔn)影像檔案格式轉(zhuǎn)換, 報(bào)表輸出等等。 | |||||
階高標(biāo)準(zhǔn)片(選配) | 提供 50 nm-- 150 mm 多種規(guī)格 | |||||
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