詳細(xì)介紹
- 最小設(shè)定單位達(dá)0.1μm。
- 高效率圓盤平面研磨從小工件φ200mm至可容納多個(gè)工件同時(shí)平面研磨,工件φ1800mm加工可能。
- 工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)標(biāo)準(zhǔn)為油靜壓設(shè)計(jì)。
機(jī)器能力 | ||||||
RG 200 | RG 500 | RG 600 | RG 700 | RG 800 | RG 2000 | |
電磁夾頭尺寸 | 200mm× 200mm | Φ500 | Φ600 | Φ600 | 800mm× 800mm | 1800mm× 1800mm |
工作臺(tái)移動(dòng)量 (左右x前后) | 210 | 300 | 497 | 497 | 497 | 1400 |
工作臺(tái)上方到主軸中心距離 | 411.5 | 538 | 538 | 538 | 538 | 890 |
上下最小設(shè)定單位 | 0.1μm | 0.1μm | 0.1μm | 0.1μm | 0.1μm | 0.1μm |
砂輪尺寸 (外徑×寬度×內(nèi)徑) | Φ180~255×8~19×Φ50.8 | Φ200~355×25~38×Φ127 | Φ200~355×25~38×Φ127 | Φ200~355×25~38×Φ127 | Φ200~355×25~38×Φ127 | Φ680×10×Φ127 |
以上規(guī)格可能因廠商改良機(jī)種而有所不同,須以本公司實(shí)際報(bào)價(jià)時(shí)的規(guī)格為準(zhǔn)。