詳細(xì)介紹
對應(yīng)太陽能晶片。使用金剛線和切線網(wǎng),滿足高精度、高成品率及高生產(chǎn)效率的線切機(jī)。
TWP-500DL是以配合使用金剛線加工而開發(fā)的線切機(jī)。為限度發(fā)揮出金剛線磨粒的加工特長,在設(shè)備各處使用了本公司獨自的技術(shù)。設(shè)備規(guī)格可將 □156mm×L500mm的硅晶棒上下2段排列,并一次切割2根晶棒。上下左右配置4根導(dǎo)線軸,將1條鋼線分為上下兩段用, 且各自獨立的繞線加工網(wǎng)。為防止鋼線在走線時出現(xiàn)扭曲和斜行走線,配置了繞線軸和滑輪。同時還搭載了大功率電機(jī)等。本設(shè)備與以往的線切機(jī)相比,實現(xiàn)了2倍以上的高生產(chǎn)效率。即使在進(jìn)行每分1mm的高速切割時,也可確保TTV10μm以下的高精度,且達(dá)到98%以上的高成品率。
主要規(guī)格 | TWP-500DL | |
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安裝尺寸 (正面寬×縱深×高) | mm | 1,860×4,200×2,590 |
晶棒尺寸 | mm | φ156 |
鋼線導(dǎo)向軸數(shù) | 條 | 4 |
晶棒長度 | mm | 500×2 (上下2段) |
走線速度 | m/分 | 1,500 |