Okamoto 創(chuàng)新達成終極平研”級之真平面化
創(chuàng)造出光學測定器、半導體、平坦度Pancl製造技術等追求近乎零瑕疵平面度之理想
Okamoto開發(fā)之超精密可變靜壓滑軌磨床，創(chuàng)造終極光滑表面，能以細粒度之砂輪作平面拋光加工，級精度可達平面度30nm/㎡


超精密大型平面磨床（機型規(guī)格左右600~6000mm/前後400~800mm）
大眾需求對大型加工物精度要求之時代已來臨
向大型液晶PANEL市場挑戰(zhàn)（環(huán)境溫度：20±0.2℃/168 hrs）
■滑 道－全軸非接觸式可變靜壓滑軌。
■主要特徵－基準面真直度：左右0.5μm以下/1000mm、前後0.4μm/800mm。
■穩(wěn) 定－長時間壓力下有效抑制膨脹系數(shù)，達真平面，安定省電降低成本。
■可變靜壓－彈性式的控制油量壓力系統(tǒng)，將滑軌內油膜變化控制在最小限度。油膜厚度之變化量僅是一般油靜壓的1/7，滑軌內剛性亦強化4倍傲視群倫。
■靜壓油量－供給滑道面之靜壓油量抑制在向來油靜壓之1/3，大幅減低運轉成本。
■分解能力－2nm。