詳細(xì)介紹
![](https://img78.jc35.com/92b8cee7c1618c630241488556ebf6233fdd3a7ac07251acb98fbf5c6b4ebd880d071b5c44756d57.jpg)
UPG84NC
超精密平面磨床
(左右行程手動位移按鍵式入力定位方式,奈米自由曲面研磨控制)可以研磨級水準(zhǔn)之原始測定器以及陶瓷軌道
(不需要拋光加工就可讓砂輪在加工時(shí)之研磨面左右極限*不會產(chǎn)生多餘磨耗現(xiàn)象)
■機(jī)械重量為向來機(jī)種之2 倍強(qiáng)化高剛性結(jié)構(gòu)及採用光學(xué)式回饋尺方式,可回朔支援上下進(jìn)給10nm之正確動態(tài)精度。
■搭載可變靜壓軌道系統(tǒng),已克服過去一成不變難以負(fù)荷載重之弱點(diǎn)。滑軌面剛性比以往強(qiáng)化了4倍。
■左右衝程設(shè)定以位移定位按鍵式直接輸入控制,至高無上控制新技術(shù)可對應(yīng)各種方式加工需求。
■使用全密閉安全罩並保持機(jī)械內(nèi)恆溫恆濕之環(huán)境,並藉由大量研磨液之供給,控制蒸發(fā),能防止工件因表面溫度降低產(chǎn)生形狀之變化。
(左右行程手動位移按鍵式入力定位方式,奈米自由曲面研磨控制)可以研磨級水準(zhǔn)之原始測定器以及陶瓷軌道
(不需要拋光加工就可讓砂輪在加工時(shí)之研磨面左右極限*不會產(chǎn)生多餘磨耗現(xiàn)象)
■機(jī)械重量為向來機(jī)種之2 倍強(qiáng)化高剛性結(jié)構(gòu)及採用光學(xué)式回饋尺方式,可回朔支援上下進(jìn)給10nm之正確動態(tài)精度。
■搭載可變靜壓軌道系統(tǒng),已克服過去一成不變難以負(fù)荷載重之弱點(diǎn)。滑軌面剛性比以往強(qiáng)化了4倍。
■左右衝程設(shè)定以位移定位按鍵式直接輸入控制,至高無上控制新技術(shù)可對應(yīng)各種方式加工需求。
■使用全密閉安全罩並保持機(jī)械內(nèi)恆溫恆濕之環(huán)境,並藉由大量研磨液之供給,控制蒸發(fā),能防止工件因表面溫度降低產(chǎn)生形狀之變化。