詳細介紹
UPR3NC
超精密旋轉(zhuǎn)式平面磨床
適用於超高速主軸間隙背板加工及CD-光碟金屬模之磨床前所未見!
Okamoto向您展現(xiàn)圓形加工領(lǐng)域中層次!
■迴轉(zhuǎn)式床臺採用於半導(dǎo)體微薄矽晶片磨床中具銷售實績高級精度氣壓式軸承,床臺左右進給搭載超精密可變靜壓軌道。
■上下進給高剛性直線運動軌道以微細進給對應(yīng),主軸頭上下方向剛性達120kg/μm。位移控制用光學(xué)尺回饋方式可保證上下進給10nm之動態(tài)精度。
■電腦螢?zāi)惠o助尺寸自動測定-高速主軸之間隙背板內(nèi)外兩輪軸承之密合間隙量需要極精確且加上背壓之內(nèi)外軸承之尺寸測定管理極為重要。使用此方式工作物不用取下來量測同時就可以進行精修。
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■電腦螢?zāi)惠o助尺寸自動測定-高速主軸之間隙背板內(nèi)外兩輪軸承之密合間隙量需要極精確且加上背壓之內(nèi)外軸承之尺寸測定管理極為重要。使用此方式工作物不用取下來量測同時就可以進行精修。