1. 光柵安裝方式

光柵熱膨脹系數(shù)獲得PTB認(rèn)證，裝配時(shí)，一端固定，另一端可隨溫度變化自由伸縮。

2. 光氣動(dòng)平衡技術(shù)

*的氣動(dòng)平衡技術(shù)，采用柔性懸掛系統(tǒng)，加上獲得的阻尼平衡機(jī)構(gòu)，改善了機(jī)器的動(dòng)態(tài)特性，并加強(qiáng)了Z軸的安全保障。

3. 整體燕尾型導(dǎo)軌

一體式燕尾形導(dǎo)軌，提高了整機(jī)的運(yùn)行精度。

4. 活動(dòng)橋式結(jié)構(gòu)

*的活動(dòng)橋式結(jié)構(gòu)，提供了更開(kāi)敞的測(cè)量空間。

5. 高精密氣浮系統(tǒng)

各軸采用預(yù)載荷空氣軸承，消除摩擦力和運(yùn)行磨損對(duì)機(jī)器造成的影響，并對(duì)現(xiàn)場(chǎng)灰塵不敏感。

6. 標(biāo)準(zhǔn)工藝流程

厚重穩(wěn)固的整體花崗石工作臺(tái)減少了振動(dòng)帶來(lái)的影響，臺(tái)面平面度符合DIN876標(biāo)準(zhǔn)。

7. 驅(qū)動(dòng)電機(jī)遠(yuǎn)程放置

電機(jī)遠(yuǎn)程放置減少了移動(dòng)質(zhì)量,提高了速度，也避免了電機(jī)發(fā)熱對(duì)機(jī)器性能帶來(lái)的影響。

8. 高精密三角梁技術(shù)

精密三角梁TM(TRICISIONTM)式橫梁設(shè)計(jì),降低了重心，同時(shí)比等寬度軸承跨距的其他形式橫梁的重量輕。