1. 高精密三角梁技術(shù)

橫梁采用經(jīng)過廣泛驗(yàn)證的斜屋技術(shù)，使得系統(tǒng)剛性與動(dòng)態(tài)性能更好。

2. 精密長(zhǎng)導(dǎo)軌

精密長(zhǎng)導(dǎo)軌，采用高穩(wěn)定性的花崗石材料，為整機(jī)精度提供了良好的基礎(chǔ)。

3. Heiden-hain光柵

機(jī)器各軸均采用高分辨率、 抗干擾、防磨損的Heiden-hain鍍金光柵，溫度膨脹系數(shù)通過PTB認(rèn)證。

4. 鋼絲增強(qiáng)型同步帶

X與Z向傳動(dòng)，采用鋼絲增強(qiáng)型同步帶，將柔性嚙合與剛性軸向傳動(dòng)結(jié)合為一體，確保精確到位。

5. 可調(diào)式氣動(dòng)平衡

Z軸采用可調(diào)式氣動(dòng)平衡，可在緊急情況下自動(dòng)制動(dòng)，確保測(cè)量機(jī)的安全。

6. 精度補(bǔ)償技術(shù)

通過配備線性溫度補(bǔ)償提升系統(tǒng)的性能。

7. 驅(qū)動(dòng)電機(jī)遠(yuǎn)程放置

采用專業(yè)的控制系統(tǒng)，保證了機(jī)器的動(dòng)態(tài)性能和測(cè)量精度。