詳細(xì)說明

測(cè)量范圍X軸：0-200mm

可選Z軸：0-620mm

可選 Z1軸：6mm,2mm

輪廓傳感器線性精度：≤±0.07%f.s.(95mm測(cè)桿)

粗糙度傳感器線性精度：≤±(12nm + 3%)

主要技術(shù)參數(shù)

技術(shù)特點(diǎn) ·一次測(cè)量，實(shí)現(xiàn)粗糙度、波紋度、輪廓分析 ·實(shí)現(xiàn)全范圍內(nèi)的粗糙度、波紋度測(cè)量 ·X向采用新型數(shù)字式傳感器，精度更高，Z1采用自主研發(fā)高精度多段式電感傳感器 多段式高精度傳感器具有超大量程，大限度保持了傳感器的原有精度。 采用高剛性高精度免維護(hù)直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，精密控制系統(tǒng)。 采用高速并行數(shù)據(jù)采集單元，硬件觸發(fā)、硬件高速采樣，無(wú)延時(shí)；足夠密集及穩(wěn)定的數(shù)據(jù)源為后期數(shù)據(jù)處理、計(jì)算提供有力的保障。 Vitarl 7 系列具有傳統(tǒng)的粗糙度輪廓儀的優(yōu)勢(shì) 測(cè)量功能 輪廓測(cè)量：各種類型工件表面的線要素，點(diǎn)要素、點(diǎn)與點(diǎn)的距離、線與線的距離、各要素的位置度包括距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑，可進(jìn)行直線度分析、凸度分析。 輪廓分析：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr 粗糙度測(cè)量：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr 波紋度參數(shù)：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr