詳細介紹
日本Union精密厚度測量顯微鏡
型號:THS
品牌:日本UNION
厚度測量顯微鏡 原理:
THS是一款非接觸式的光學測量系統(tǒng)。它采用光學對焦檢測原理。THS采用上下兩套光學系統(tǒng),各配置單獨的光學對焦系統(tǒng),用于觀察工件的位置和形狀,測量厚度可達10mm。THS光學系統(tǒng),操作簡單,而且,裂像會清晰的顯示在顯示器中。
THS厚度測量原理是基于UNION*的光學測量原理。THS有上下兩套光學系統(tǒng),每個系統(tǒng)都有精密的對焦裝置,對焦裝置內(nèi)有一個內(nèi)置的裂像。
厚度測量顯微鏡 特點:
即使工作臺上沒有放置工件,顯示器上也會顯示裂像圖像,裂像圖像可通過上下光學系統(tǒng)簡單的辨別。
此設備通過上下兩個鏡頭對零件兩個面進行聚焦,以下鏡頭為基準,上鏡頭進行聚焦測量,從而測量出被測零件的厚度。不但精度可達1微米,而且采用Union光學株式會社專有的裂像輔助對焦系統(tǒng)可以的減少人為誤差從而達到精準測量。此設備測厚尺寸為25mm。
厚度測量顯微鏡 測量步驟
A、先將上下兩鏡頭在不加任何測量件的情況下同時聚焦,此時兩個清晰的裂像標記出現(xiàn)在顯示器上。然后,將Z軸數(shù)字計數(shù)器置零。(如圖) | |
B、將樣品放置在顯微鏡工作臺上, 然后移動下鏡頭聚焦于樣品的底部。(如圖) | |
C、當下鏡頭聚焦到測量零件表面后,再移動上鏡頭的調(diào)焦旋鈕。當裂像指示器清楚的聚焦在測量樣品表面時,此時讀數(shù)器上顯示的數(shù)值即為所測樣品的厚度 (如圖) |
厚度測量顯微鏡 應用行業(yè):
測量范圍為0~10mm,因此應用范圍廣泛。
開罐器的測量:
可以量測開罐器的各個部分(score residual, etc.)
測量蓋子凹槽的深度(score residual, etc.)
Wafer減薄行業(yè)厚度測量、電池行業(yè)防爆彈片厚度測量等等
Union厚度測量顯微鏡與激光測量的區(qū)別
THS光學測量,不僅可以測量, 還可以觀察測量點的表面情況 | 激光測量,僅可以測量 |
技術規(guī)格:
型號 | 測量行程 | 精度 |
THS-10 | X:100mm Y:100mm | 1um(0.1um 可選配) |