紅外觀察測(cè)量顯微鏡DZ2-IR

型號(hào)：DZ2-IR
品牌：UNION
品名：紅外觀察測(cè)量顯微鏡

DZ2-IR是一款接收紅外波長(zhǎng)的變焦視頻顯微鏡，具有較高的分辨率和放大倍率，可以觀察樣品內(nèi)部缺陷和結(jié)構(gòu)，在半導(dǎo)體封裝中應(yīng)該廣泛，如BGA，CSP和COF等…

特點(diǎn)：
1.650μm~1200nm波長(zhǎng)光學(xué)系統(tǒng)從可見光到近紅外范圍。
2.無極變倍放大倍率（1.5x~15x）或（5x~50x）。不需要更換物鏡，同時(shí)具有較高的工作記錄。
3.配置Uni-Measure測(cè)量軟件，進(jìn)行大尺寸移動(dòng)測(cè)量或微觀小尺寸測(cè)量。
4.配備表面和透射紅外光照明，能很好的應(yīng)用于半導(dǎo)體各種封裝內(nèi)部結(jié)構(gòu)的觀察。

設(shè)備簡(jiǎn)介：
一、光源選擇

搭配表面和透射光源可觀察芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)：


二、鏡頭參數(shù)



三、工作距離
可方便的對(duì)樣品進(jìn)行操作，具有較長(zhǎng)的工作距離
低倍物鏡（1.5X - 15X）：W.D 46.2毫米
倍率物鏡（5X – 50X）：W.D 14毫米



四、主要應(yīng)用

搭配GaAs紅外CCD觀察晶圓及芯片內(nèi)部缺陷

觀察BGA封裝焊球的位置




Wafer正面反面結(jié)構(gòu)位置偏移