詳細介紹
平面平晶是以光波干涉原理為基礎,利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測量被測量面的平面度
平面平晶用于檢定量塊的研合性和平面度以儀器和量具的測量面、工作面的平面度。亦可用于檢定高精度的平面零件,例如,平面光學零件、高級平臺、平板、導軌、密封件等。平面平晶特別適用于計量單位、實驗室作為標準平面和樣板。
平面平晶的技術參數(shù)(備注:特殊規(guī)格、特殊材料平晶可定做) | ||||
平面直徑d(mm) | 基本參數(shù) | |||
1級 | 2級 | |||
d范圍內(nèi) | 2/3d范圍內(nèi) | d范圍內(nèi) | 2/3d范圍內(nèi) | |
30 | 0.03 | ---- | 0.1 | 0.05 |
45 | ||||
60 | ||||
80 | 0.05 | 0.03 | ||
100 | ||||
150 | ||||
200 | 0.08 | 0.05 | 0.12 | 0.06 |
250 | 0.1 | 0.05 | 0.05 | 0.08 |
300 | 0.15 | 0.09 | 0.09 | 0.1 |