圖1 陀螺結(jié)構(gòu)

一、原理結(jié)構(gòu)

    圖1是用于敏感旋轉(zhuǎn)載體橫滾（或俯仰）角速率的硅微機械陀螺結(jié)構(gòu)圖，1為單晶硅質(zhì)量，2為單晶硅彈性扭轉(zhuǎn)支撐梁，3為玻璃電極極板，4為玻璃電極極板上蒸鍍的金屬電極。玻璃極板和質(zhì)量之間的間隙為20μm，玻璃板的四個電極和質(zhì)量之間形成四個電容器。坐標系OXYZ固定于陀螺的質(zhì)量上， ?為質(zhì)量沿OY軸的擺動角速度，φ為載體的旋轉(zhuǎn)角速度， Ω為載體的橫滾（或俯仰）角速度（即被測角速度）。陀螺固定于旋轉(zhuǎn)載體上，當旋轉(zhuǎn)載體以φ 角速度旋轉(zhuǎn)的同時又有橫滾（或俯仰）角速度Ω 輸入時，單晶硅質(zhì)量就受到周期性變化的哥氏力（哥氏力變化頻率為載體旋轉(zhuǎn)頻率）作用，使質(zhì)量產(chǎn)生沿OY軸擺動，從而引起由單晶硅質(zhì)量和玻璃電極構(gòu)成的四個電容器C₁ 、C₂、C₃、C₄ 的變化，把電容變化信號轉(zhuǎn)換成電壓變化信號之后經(jīng)放大，便得到和被測角速率Ω 成比例的電壓信號。

二、技術(shù)指標

三、用途

    本陀螺用于敏感旋轉(zhuǎn)體的橫滾（或俯仰）角速率，例如，飛行體的橫滾或俯仰角速率，鉆井鉆頭垂直度和穩(wěn)定度的控制等，它具有廉價、體積小、重量輕、功耗低、產(chǎn)品一致性好，性能穩(wěn)定等特點。

CRS-A01微機械陀螺

量程                ±200°/s(可選)
比例系數(shù)            （15mV±5 mV）/°/sec
比例系數(shù)溫度特性    ＜0.05％/℃
零位電壓范圍        0±100 mV
零位變化（全溫度）  7°/sec
加速度影響         ＜0.05/sec/g
起動時間           ＜3sec（Typical）
頻響               ＞50Hz
線性度             ＜0.05％
供電電壓           ±15V
供電電流           ≤20mA
工作環(huán)境：
  工作溫度       -40℃ ～ +80℃
  儲存溫度       -55℃ ～ +100℃
振動               6g，20～2000Hz，三分鐘
沖擊               500g，半正弦
重量               100g

CRS-T01型微機械陀螺慣性組合

1. 三軸角速度陀螺
1.1 測量范圍           　　≥±150°/s
1.2 線性度 (F.S)        　0.1%
1.3交叉耦合           　0.1%
1.4 分辨率             　0～±5°/s          　≤0.002°/s 
                      　±5°/s～±150°/s     ≤0.02°/s
1.5零位漂移           　≤±0.01°/s/h  (1σ)
1.6 零位逐次啟動重復性 　≤±0.01°/s  (1σ)
1.7 帶寬               　≥50HZ    
2. 三軸線加速度計
2.1 測量范圍          　≥30 g
2.2 線性度 (F.S)       　5×10―4     
2.3 交叉耦合          　5×10―4
2.4 零位綜合誤差     　 ≤3×10―4 g    
2.5 帶寬              　≥100HZ  
3. 環(huán)境適應性
3.1 工作溫度          　－40℃～＋60℃
3.2 儲存溫度          　－55℃～70℃
3.3 振動             　 20～2000HZ   6g，1分鐘， 軸向。
3.4 沖擊              　100g，持續(xù)時間：5～8ms，三方向。
4. 工作電源           　28±3V   電流：≤0.5A
　加熱電源  　　　　　　28±3V   電流：≤3A
5. 外形尺寸           　φ120mm×150mm
6. 重量              　 3.5kg