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詳細(xì)介紹
Ra,Rz=Ry(JIS),Rq,Rt=Rmax,Rp,Rv,R3z,R3y,RzJIS,Rs,Rsk,Rku,Rsm,Rmr 點、直線、圓、部分圓、橢圓、圓弧處理（圓弧半徑、圓心距、圓心到直線的距離、 交點到圓心的距離等）、點、點、距離、角度處理（坐標(biāo)夾角、直線夾角）、 直線度、槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、水平距、凸度（對數(shù)曲線）、輪廓度等參數(shù) X軸 Z1軸 取 樣 長 度 L 評 定 長 度 測量行程長度 X軸（橫導(dǎo)軌） Z1軸（傳感器） Z軸（立柱）測量項目 粗糙度 部分 輪廓儀 部分 粗糙度 測量范圍 RA：0.005μm—16.00μm ±20μm、±40μm、±80μm 0.25mm、0.80mm、2.50mm、自動 1L—5L(可選 L為取樣長度) 3L—7L(可選 L為取樣長度) 輪廓儀 測量范圍 150mm 50mm 400mm 粗糙度 測量精度 示值誤差 1 0.001μm 示值誤差 2 ≤±7％ 輪廓儀 測量精度 X軸(L=X軸導(dǎo)軌移動距離) ±(1+L/300) μm Z1軸(H=Z1軸方向測量高度) ±(0.8+6H/100) μm X軸水平臂 直線度 0.15μm /60mm 光柵分辨率 0.1μm 光柵產(chǎn)地 進(jìn)口 Z1軸傳感器 分辨率 0.05μm 傳感器類型 數(shù)字傳感器 產(chǎn)地 進(jìn)口 移動方向 前/后 雙方向 測力 0.01-0.06N 測針針尖 硬質(zhì)合金 R：0.05mm、0.01mm 爬坡角度 上升77度 下降88度 粗糙度 速度 驅(qū)動行程長度 17.5mm/0.71 inch 最小驅(qū)動行程長度 1.3mm/0.052 inch 輪廓儀 速度 測量速度 0.02mm/s,0.05mm/s,0.1mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,4.0mm/s(8個) 定位速度 0.02mm/s,0.05mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,3.0mm/s,4.0mm/s(8個) 圖形放大/縮小 圖形放大 可任意縮小、放大 綜合調(diào)整臺 A型綜合調(diào)整臺 X軸水平傾斜調(diào)整范圍：±30°，Y軸方向調(diào)整范圍：±7.5mm，Z軸回轉(zhuǎn)可調(diào)360度 B型綜合調(diào)整臺 X軸水平傾斜調(diào)整范圍：0-60°，Yθ1：0-1.5度，Zθ1：0-2.5度，Zθ2：0-1.5度 安裝要求 電源 220-240V AC, 50HZ，單獨地線；功率消耗450W 壓縮空氣 純凈壓縮空氣：氣壓0.4MP，消耗0.1m3 /min （氣源供給0.6MP，0.25m3 /min以上） 環(huán)境要求 工作溫度：10°-30°（常溫）；濕度20-80%RH（無結(jié)露），良好地線，無明顯振源
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