DCM-40/60-測(cè)量顯微鏡DCM-40/60-東莞市高騰達(dá)精密工具有限公司

型號(hào):DCM

品牌：日本UNION

DCM-40/60 是一款特殊的工具顯微鏡，設(shè)計(jì)的目的主要是用來(lái)觀察晶圓的頂部和底部是否重合DCM-50/60, 它可以在一個(gè)顯示器屏幕添加兩個(gè)模式進(jìn)行對(duì)比。它們之間的任何差異都很容易被檢測(cè)出來(lái)，同時(shí)數(shù)量的差異也可以通過(guò)計(jì)數(shù)器來(lái)測(cè)量。
可提供的物鏡放大倍數(shù)(5X, 10X, 20X, 40X), DCM-40/60 適用于各種材料的測(cè)量。

DCM-40 測(cè)量晶圓的厚度為4英寸。
DCM-60 測(cè)量晶圓的厚度為6英寸。

測(cè)量方法 :

A 將開(kāi)關(guān)旋鈕調(diào)至Top & Bottom檔,將光學(xué)軸的頂部和底部調(diào)整至校正圖標(biāo)上重合。

B 將晶片放在工作臺(tái)上,將光軸轉(zhuǎn)換按鈕調(diào)至TOP位置。鏡頭將聚焦于晶片頂部的表面。

C 將光軸轉(zhuǎn)換按鈕調(diào)至Bottom位置,鏡頭將聚焦于晶片底端的表面。

D 將光軸轉(zhuǎn)換按鈕調(diào)至Top & Bottom位置,看看兩部分是否*重合,確定錯(cuò)位的距離,若有的話,用物鏡的十字線去標(biāo)識(shí)然后計(jì)數(shù)器去測(cè)量。

主要特點(diǎn)：

1)光軸的上下部很容易對(duì)齊。.
2)DCM-40/60 有各種型號(hào)的工作臺(tái)。.
3)配有CCD作為視圖工具。可以通過(guò)顯示器觀察樣品和拍照。(有兩種CCD可供選擇，同時(shí)CCD的適配器也可供選擇。)
4)可以觀察頂部或者底部的單一面

規(guī)格：

	DCM-60	DCM-40
物鏡	總放大倍率 [50X] [100X] [200X] [400X] 頂部 PLM5X PLM10X PLLWDM20X PLLWDM40X 底部 PLM5X PLM10X PLLWDM20X PLLWDM40X
目鏡	SUW10X目鏡一對(duì)（包含十字線）	SUW10X目鏡一對(duì)（包含十字線）
總放大倍率	50X-400X（不同的倍率可供選擇）
頂部聚焦行程	24mm	30mm
底部聚焦行程	3mm	12mm
光源	頂部：綠光底部：紅光
工作臺(tái)&讀數(shù)器	150mm x 150mm KC-12R讀數(shù)器（顯示精度0.1um）	50mm x 50mm/100mm x 100mm KC-12R讀數(shù)器（顯示精度0.1um）
工作臺(tái)行程	X：150mm Y:150mm	X:50mm Y:50mm/X:100mmY：100mm
Wafer放置盤(pán)	：6 inch	：4 inch
	可以根據(jù)客戶需求對(duì)尺寸進(jìn)行設(shè)計(jì)更改
工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)角度	360°
燈箱	150W鹵素?zé)粝?/span>
可量測(cè)金屬厚度	20mm以下		30mm以下