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非接觸式測量工具顯微鏡
HISOMET系列工具顯微鏡為一專業(yè)X、Y、Z軸座標測量顯微鏡，X、Y工作臺行程由50×50mm到大行程500×500mm，放大倍數(shù)由5×至1000×。為求提高工件在Z軸深度/高度測量時的精度，Z軸對焦采用一磚利光學“裂像指示器"，結合精密的Z軸“Cross Roller Bearing"導軌，可測范圍25 mm，精度高達1μm，配合特殊附件，測量分解度更可達0.5μm或0.1μm。
非接觸式測量顯微鏡
對焦清楚后如下圖：
應用實例：
技術規(guī)格：
| 型 號 | DH II | ||||||
| 工作臺行程mm | 50×50 | 100×100 | 100×200 | 150×150 | 150×300 | 300×300 | 500×500 |
| Z軸測量范圍 | 25mm | 25mm | 25mm | 25mm | 25mm | 25mm | 25mm |
| X、Y、Z軸數(shù)顯分解度 | 0.001mm | ||||||
| Z軸讀數(shù)裝置 | 內置數(shù)顯表／外置數(shù)據(jù)處理系統(tǒng) | ||||||
| 反射照明系統(tǒng) | 內置LED／外置冷光源 | ||||||
| 標準目鏡 | NWF10X | ||||||
| 標準物鏡（W.D.12mm） | PLM10X | ||||||
| 讀數(shù)系統(tǒng) | 簡易座標讀數(shù)器 | ||||||
| 多功能數(shù)據(jù)處理器 | |||||||
| 測量軟件電腦系統(tǒng) | |||||||
| 選購物鏡 | PLM3X(W.D.8.5mm), PLM5X(W.D.19mm), PLLWDM20X (W.D.11.2mm), PLLWDM40X(W.D.10mm), SPLM50X (W.D.1.5mm), PLLWDM100X (W.D.5.0mm), SPLM100X(W.D.1.0mm) | ||||||
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