Mahr 計(jì)量的先進(jìn)技術(shù)實(shí)現(xiàn)一步完成輪廓和粗糙度測量。MarSurf LD 130 和 MarSurf LD 260 測量站在第一代設(shè)備經(jīng)驗(yàn)的基礎(chǔ)上，又經(jīng)過系統(tǒng)化的設(shè)計(jì)。各種應(yīng)用中的測量任務(wù)越來越需要同時(shí)測量輪廓和粗糙度深度。測量儀器必須有很高的測量性能才能滿足這些要求。亞納米級(jí)分辨率和殘余噪聲 <20 nm Rz 只是一些基本要求。

優(yōu)點(diǎn):

一步完成粗糙度和輪廓測量高測量和定位速度可大幅減少測量時(shí)間

創(chuàng)新的測頭系統(tǒng)解決方案，快速可靠的測桿更換，磁性支架同步檢測測桿

長測量長度，高達(dá) 130 mm，測量行程 13 mm（100 mm 測桿長度）或 26 mm（200 mm 測桿長度）。模塊結(jié)構(gòu)，方便維護(hù)

定位速度	0.02 - 200 mm/s (X)
掃描長度末尾（X方向）	130 mm
測量速度	0.02 mm/s 至 10 mm/s；
粗糙度測量	推薦 0.1 mm/s 至 0.5 mm/s
導(dǎo)塊偏差	0.35 µm / 60 mm
分辨率	0.8 nm
測量范圍 mm	13 mm（100 mm 測桿）
掃描長度	0.1 mm - 130 mm
測量力

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德國Mahr 馬爾 MarSurf LD 130 LD 260 輪廓粗糙測量儀

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