平板(平臺)的局部誤差是指平板(平臺)工作面局部平面度加工質(zhì)量,包括工作面加工的微觀質(zhì)量和工作面小范圍內(nèi)的局部畸變. 所謂加工的微觀質(zhì)量是指加工表面極小間距微小峰谷不平度,即表面粗糙度.表面微觀質(zhì)量好,耐磨損,平板使用壽命高.而工作面小范圍內(nèi)的局部畸變是指加工表面不平整、有變形.這里所說的工作面小范圍,對小平板(平臺)而占是局部位置,對大平板(平臺)則是局部面積.平整性反映了平板(平臺)局部誤差.
平板剛度是衡量平板質(zhì)量的重要指標(biāo)平板在使用中要承受一定荷重,若平板剛度差,承受荷重后產(chǎn)生的撓度大,使平面度超差,也就不再起應(yīng)有的基準(zhǔn)平面作用.因此平板剛度是影響其使用精度的重要因素,要求平板結(jié)構(gòu)設(shè)計**保證平板有足夠的剛度,所以說平板剛度是衡量平板質(zhì)量的重要指標(biāo).我國和國外標(biāo)準(zhǔn)已把這一指標(biāo)列入平板質(zhì)量考核項目.