機(jī)床商務(wù)網(wǎng)
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品特點(diǎn)
產(chǎn)品主要適用于小規(guī)模生產(chǎn)/科學(xué)實(shí)驗(yàn)
設(shè)備開外小巧,結(jié)構(gòu)緊湊,操作簡(jiǎn)單容易維護(hù)
引進(jìn)德國(guó)核心等離子技術(shù)
進(jìn)口316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕
進(jìn)口針閥精密流量控制計(jì)
兩路工藝反應(yīng)氣體通道
可以根據(jù)客戶需求定制
行業(yè)應(yīng)用
基本參數(shù)
| 腔體材質(zhì) | 316不銹鋼 |
| 電源頻率 | 40khz/13.56mhz |
| 容量(L) | 2 |
| 功率(W) | 300 |
| 腔體尺寸(L*W*H)mm | 直徑100*270 |
| 外形尺寸(L*W*H)mm | 550*600*400 |
| 真空度 | 30pa-100pa |
| 氣體流量 | 0-100ml/s |
| 清洗時(shí)間 | 1-100分鐘可調(diào) |
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
| 氣體通道 | 兩路工作氣體，O2 , Ar等 |
| 控制方式 | 人機(jī)界面 |
| 真空腔體溫度 | ＜50℃ |
| 真空泵 | 油泵/干泵(可選) |
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