a). 主體

b). 研磨主軸控制系統(tǒng)

c). 雙頭工作軸控制系統(tǒng)  

d). 擺動控制系統(tǒng)(防止偏心) 

e). 自動研磨盤修整和開槽控制系統(tǒng)

f). 研磨液攪拌泵系統(tǒng)

g). 防塵蓋與防塵控制系統(tǒng)

a). 任意設(shè)置5片φ2;芯片的加工條件，程序設(shè)置簡單通過設(shè)定時間來完成單面研磨操作 可按工藝程序進行參數(shù)變更并可加工用于研發(fā)的其它樣品

b)防止芯片偏心在2個工作軸固定好芯片的陶瓷盤，并應(yīng)用重復(fù)自轉(zhuǎn)和擺動方式

將芯片的偏心現(xiàn)象減少到最小(偏心控制≤±2μm/1-block)

c). 研磨盤平行度及開槽控制系統(tǒng)平整研磨盤及開槽工藝可以用一次命令來完成

可在磨損后的研磨盤上直接刻出新槽，提高工作效率。

a). 研磨盤控制系統(tǒng)

-研磨盤尺寸: φ460mmXφ100mm

-研磨盤轉(zhuǎn)速: 20 ~ 220 rpm

-設(shè)置時間: 0.1 ~ 30 min

-滾球軸承類型

-馬達驅(qū)動 (kW) : 2.2kW,220V, 3P

b). 驅(qū)動控制系統(tǒng)

-擺動: Ac 伺服馬達  100W

-馬達驅(qū)動: Ac 齒輪馬達  60W, 2 工作頭

-驅(qū)動電源: 380V , 50Hz /60Hz, 5.0kW/30A

-驅(qū)動氣壓: 5.5~6 kg f/㎠  (0.55 ~0.6Mpa),φ8

-冷卻液管道: φ8

c). 研磨液自動噴灑系統(tǒng)

-噴灑系統(tǒng)數(shù)量: 2 個

-噴灑時間控制: 1 ~ 999 sec

-持續(xù)時間控制: 1 ~ 9 sec

d). 研磨盤自動修整系統(tǒng)及冷卻系統(tǒng)

-修整尺寸: 200 mm

-修整速度: 400 mm/min

-修整最小速度: 5 mm/min

-開槽距離: 0.1 ~9.9mm

-開槽深度控制系統(tǒng): 手動千分尺

-馬達驅(qū)動: 0.2 kW AC 伺服馬達

-修整后平面度: ±2μm

-修整刀尺寸: 10 x 10 x 100 mm

-循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

e). 操作面板

-PLC控制系統(tǒng)

-按鍵控制系統(tǒng)

f). 空氣壓力控制系統(tǒng)

-基于氣缸的可變穩(wěn)定壓力系統(tǒng)

- φ62X200st

g). 消耗品及配件

-研磨盤:  研磨樹脂銅盤O.Dφ460cmXI.Dφ100cm

-陶瓷引導(dǎo)環(huán):φ170cm

-上蠟陶瓷盤: φ150mmX15t

-自動攪拌器，噴嘴，攪拌棒

-修整刀 60°X0.3R

-研磨液:6μm

設(shè)備尺寸: 1,250mm(W)X1,640mm(L)X1,950mm(H)

i). 設(shè)備重量: 2,400Kg

j). 預(yù)計產(chǎn)量: 7,000片/月