特征： 應(yīng)用：

直線度可達(dá)10um 半導(dǎo)體設(shè)備
X軸***6m Y軸0.5m行程 自動(dòng)化搬送
以線性滑軌架構(gòu)之定位平臺(tái) FPD設(shè)備
良好接地設(shè)計(jì)防止雜訊干擾 太陽(yáng)能製造設(shè)備
Z向震動(dòng)可達(dá)奈米等級(jí)以下 PCB設(shè)備
***速度可達(dá)5m/s 水刀設(shè)備
標(biāo)準(zhǔn)重現(xiàn)精度1um或以下 鑽石切割產(chǎn)業(yè)
位置回饋系統(tǒng)解析度***可達(dá)50nm AOI檢測(cè)設(shè)備
工具機(jī)