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詳細(xì)介紹
高剛性研磨機(jī)--HRG300
HRG300 既可以對大尺寸晶圓（300 ｍｍ）進(jìn)行單枚加工，也可以對小直徑工件進(jìn)行多枚同時加工。
特點(diǎn)
■ 高剛性
■ 高加工效率
■ 低消耗
■ 搭載多枚同時加工的 IPG 功能
■ 加工時的磨輪修正單元（選配）
可研磨材料：難加工的硬脆材料，比如藍(lán)寶石，碳化硅，氮化鎵和氮化鋁
可加工尺寸：直徑2-12英寸
可加工厚度：20mm(包含基座)
●規(guī)格參數(shù)
類別 | HRG300 |
高剛性研磨機(jī) | |
設(shè)備尺寸和重量 | 尺寸：1540（W）×1880(D)×2010(H) mm |
重量：3700 kg | |
加工直徑（mm） | 300 |
磨輪直徑（mm） | 300 |
磨輪轉(zhuǎn)速（rpm） | 3600 |
工作臺轉(zhuǎn)速(rpm) | 400 |
主軸功率(KW) | 11 |
工作臺功率（KW） | 2 |
全自動監(jiān)測 | 實時測量治具（支持多片同時加工） |
研磨精度（μm） | 0.1 |
不間斷修磨 | 選配 |
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