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詳細(xì)介紹
自動(dòng)清洗機(jī)--A-CS-300
獨(dú)立的晶圓清洗設(shè)備A-CS-300可對(duì)半自動(dòng)切割機(jī)加工后的晶圓進(jìn)行清洗和吹干。
二流體噴嘴和水平擺臂可實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的清洗效果。
●清洗臺(tái)盤轉(zhuǎn)速：3,000 min-1
●可對(duì)應(yīng)的框架尺寸：5-12英寸（ACCRETECH標(biāo)準(zhǔn)框架）
●清洗方法：二流體、沖洗水、干燥空氣（擺臂驅(qū)動(dòng)）
●選配項(xiàng)：高壓水清洗
規(guī)格 | |
框架尺寸 | Φ5″toΦ12″(ACCRETECH標(biāo)準(zhǔn)框架) |
清洗臺(tái)盤轉(zhuǎn)速 | 30到3000min-1 |
二流體清洗 | 純水（0.3MPa,0.2L/min）+干燥空氣（0.4 MPa,100L/min） |
沖洗水壓力 | 小于0.4 MPa |
干燥空氣壓力 | 小于0.7 MPa |
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動(dòng)力 | |
電源 | 3相 AC 200V 50-60 HZ |
消耗功率 | 3 kVA(Max.) |
壓縮空氣 | 0.5-0.7 MPa,200 NL/min（ANR） |
清洗水 | 0.2-0.5 MPa,2 L/min |
尺寸 | 490W×650D×1400H mm |
重量 | 160KG |
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