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詳細(xì)介紹
AD3000T--12寸對向型全自動雙軸機
先端技術(shù)的融合及應(yīng)用支持體系 大大提高了顧客滿意度
運用*的核心技術(shù)，實現(xiàn)了占地面積小、生產(chǎn)效率高及優(yōu)異的 CoO 性能。
獨自開發(fā)的對向式雙軸加工模式帶來的高效加工能力，結(jié)構(gòu)非常優(yōu)化的斜向配置
帶來的維護(hù)便利性，連續(xù)多年獲得半導(dǎo)體行業(yè)供應(yīng)商榮譽帶來的信賴性。
特征
1. 選配單元的小型化，內(nèi)部設(shè)計的優(yōu)化，使得主要選配單元內(nèi)藏成為可能。
2. 標(biāo)準(zhǔn)搭載6萬轉(zhuǎn)的主軸（8萬轉(zhuǎn)選配可對應(yīng)）
3. 加工效率提高
①. X軸速度1000mm/s,Y軸速度300mm/s,Z軸速度80mm
②. 搭載2個光學(xué)式測高單元/s
4. 17英寸觸摸屏+新GUI
搭載了GUI（用戶操作界面），易于觀察的畫面和大型的按鈕，在增強
操作性的同時，采用了對話式的容易理解的輸入方式。
5. 維護(hù)性向上
大型的前部維護(hù)門提高了維護(hù)的便利性
充實的option
1. 磨刀工作臺
可搭載2片75mmX75mm尺寸的磨刀板。
各主軸上的刀片可使用磨刀板進(jìn)行修磨。
2. 可搭載Air micron單元
非接觸式測量膠帶的厚度和工件的厚度。
精確控制加工高度，實現(xiàn)高精度切割。
3. 高精度控制加工高度
加工中X/Y/Z軸同時控制，可對工件高度的起伏進(jìn)行追蹤，實現(xiàn)高精度加工。
技術(shù)參數(shù) | |||||
項目 | 規(guī)格 | 項目 | 規(guī)格 | ||
工作尺寸 | Φ305mm 12inch（可選規(guī)格） | θ軸 | 旋轉(zhuǎn)范圍 | 380° | |
兼容支架 | 12inch（SEMI G74-0699） | 其它 | 電壓 | 三相AC200 ~ 220v ±10% | |
主軸 | 轉(zhuǎn)速 | 60000r/min | 電力消耗 | 6.0kVA（Max） | |
80000r/min（可選） | 壓縮空氣 | 0.55MPa~0.70MPa | |||
刀片尺寸 | Φ60mm（2inch） | 平均空氣消耗量 | 210L/min（0.55MPa） | ||
Φ80mm（3inch）（可選） | 平均潔凈空氣消耗量 | 140L/min | |||
額定輸出 | 1.8KW | 切割水及其它壓力范圍 | 0.3MPa~0.5MPa | ||
X軸 | 切割范圍 | 310mm | 切割水及其它流量 | 切割水:10.0L/min | |
速度 | 1000mm/s | 水幕：3.0L/min | |||
Y1/Y2軸 | 切割范圍 | 310mm | 其它：0.6L/min | ||
速度 | 300mm/s | 冷卻水壓力 | 0.3MPa~0.5MPa | ||
分辨率 | 0.078μm | 冷卻水流量 | 3.4L/min（0.3MPa） | ||
精度 | 0.002mm/310mm | 排氣 | 5.0m3/min以上 | ||
Z1/Z2軸 | 行程 | 35mm | 設(shè)備尺寸 | 1290mmx1530mmx1900mm | |
分辨率 | 0.002μm | 設(shè)備重量 | 1360kg | ||
速度 | 80mm/sec |
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重復(fù)精度 | 0.001mm |
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