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金剛石砂輪的性能改觀對(duì)于藍(lán)寶石磨削技術(shù)的積極影響
閱讀：161 發(fā)布時(shí)間：2022-7-19
為了改觀金剛石砂輪的性能及磨削后藍(lán)寶石的表面質(zhì)量，國(guó)內(nèi)外學(xué)者對(duì)藍(lán)寶石磨削過程及砂輪的性能做了很多研究。對(duì)于樹脂金剛石砂輪的研發(fā)及性能的提高，國(guó)內(nèi)外的研究主要集中在超硬磨料的處理、樹脂改性、性能對(duì)比以及磨削機(jī)理等學(xué)術(shù)研究領(lǐng)域。藍(lán)寶石具有優(yōu)良的物理性能、光學(xué)性能、電學(xué)性能和力學(xué)性能，廣泛應(yīng)用于窗口、照明和半導(dǎo)體襯底等領(lǐng)域。
同時(shí)作為氮化鎵外延生長(zhǎng)的襯底材料，在完成電極制備工藝后，需要對(duì)藍(lán)寶石襯底進(jìn)行背面減薄，以提高器件的散熱性能，磨削技術(shù)在快速減薄中具有去除速率高及可控性好等優(yōu)勢(shì)。藍(lán)寶石快速減薄磨削主要使用金剛石砂輪，其中樹脂結(jié)合劑金剛石砂輪因其原料來源豐富、成型簡(jiǎn)單、自銳性好、效率高、成本低等優(yōu)點(diǎn)在金屬、樹脂、陶瓷3大種類砂輪中占百分之60~百分之70份額。砂輪的性能一定程度上決定了藍(lán)寶石減薄磨削中的磨削效率及磨削后藍(lán)寶石表面質(zhì)量，而砂輪的磨損形式及砂輪的磨損過程決定磨削過程的穩(wěn)定性。
樹脂結(jié)合劑砂輪藍(lán)寶石表面質(zhì)量?jī)?yōu)于金屬結(jié)合劑砂輪加工的表面質(zhì)量，且磨削速度為10.5 m/s時(shí)更易獲得質(zhì)量較高的磨削表面。Zhiqiang Liang和Dongxi Lv等研究了樹脂結(jié)合劑金剛石砂輪在單晶藍(lán)寶石超聲輔助磨削（EUAG）中的磨損機(jī)理。關(guān)昂通過制作MgO、Fe2O3軟磨料樹脂結(jié)合劑砂輪，使磨削后藍(lán)寶石可以獲得更加低的表面粗糙度且沒有裂紋、崩邊以及磨痕現(xiàn)象。但是，缺乏以藍(lán)寶石為磨削對(duì)象的樹脂金剛石砂輪的磨損機(jī)理、磨損過程以及對(duì)藍(lán)寶石表面質(zhì)量的影響的相關(guān)研究。