XXY精密對位平臺


臺面尺寸 : 100、160、190、200、250 (mm)
基座尺寸 : 120、170、210、350 (mm)

機(jī)械作動原理-*傳動-標(biāo)準(zhǔn)型、輕量型、重載型

★ 超薄型、輕量化平臺-采用Mini stage Xyθ模塊化結(jié)構(gòu),實現(xiàn)無中座的薄且輕的機(jī)構(gòu)

★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預(yù)壓,達(dá)高剛性、高精度表現(xiàn)

★ 中空結(jié)構(gòu)設(shè)計,可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y試器使用

★ 在各運(yùn)動軌道加入潤滑系統(tǒng)，提高對位平臺使用的壽命及精度

★ 材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預(yù)防變型,大幅提升使用壽命,質(zhì)量及效能

★ 實行三次元全檢,保證滑臺出廠精度與質(zhì)量

型號	工作臺面尺寸 (mm)	基座尺寸 (mm)	行程 (mm)	水平負(fù)載能力 (kgf)
GAS00-100HC	100x100	120x120	±2x±2	5
GAS00-160CC	160x160	170x170	±3x±3	20
GAS00-160HC	160x160	170x170	±3x±3	30
GAS00-160LC	160x160	170x170	±3x±3	30
GAS00-160HAC	160x160	170x170	±3x±3	50
GAS00-190HC	190x190	210x210	±4x±4	65
GAS00-200CC	200x200	350x350	±8x±8	110
GAS00-250HC	200x200	350x350	±8x±8	120
GAS00-200HC	200x200	350x350	±8x±8	130