XXY精密對(duì)位平臺(tái)模塊
行程 : ±15x±5、±12x±12、±15x±15 (mm)

機(jī)械作動(dòng)原理-*/側(cè)邊傳動(dòng)-標(biāo)準(zhǔn)型、高剛性型-驅(qū)動(dòng)/從動(dòng)模塊


★ 超薄型、輕量化平臺(tái)-采用Mini stage Xyθ模塊化結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)無(wú)中座的薄且輕的機(jī)構(gòu)

★ 透過(guò)特殊交叉滾柱軸承施加預(yù)壓,達(dá)高剛性、高精度表現(xiàn)

★ 中空結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y(cè)試器使用

★ 在各運(yùn)動(dòng)軌道加入潤(rùn)滑系統(tǒng)，提高對(duì)位平臺(tái)使用的壽命及精度

★ 材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預(yù)防變型,大幅提升使用壽命,質(zhì)量及效能

★ 實(shí)行三次元全檢,保證滑臺(tái)出廠精度與質(zhì)量

型號(hào)	行程 (mm)	水平負(fù)載能力 (mm)
GAU12-CCD	±15x±5	325
GAU12-CCS	±15x±5	325
GAU12-RCD	±15x±15	402
GAU12-RCS	±12x±12	402
GAU12-RSD	±15x±15	625
GAU12-RSS	±15x±15	625