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精密對(duì)位平臺(tái)包括對(duì)位模塊固定板、移動(dòng)板、x方向移動(dòng)裝置、第1y方向移動(dòng)裝置、第2y方向移動(dòng)裝置，x方向移動(dòng)裝置、第1y左右方向移動(dòng)裝置、第2y方向移動(dòng)裝置分別與該移動(dòng)板對(duì)應(yīng)對(duì)位模塊固定板、及 包括設(shè)置在該定位模塊固定板上的x方向動(dòng)力裝置、第1y方向動(dòng)力裝置和第2y方向動(dòng)力裝置，x方向動(dòng)力裝置使x方向移動(dòng)裝置沿x方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，x方向移動(dòng)裝置使該運(yùn)動(dòng)板沿x方向往復(fù)位移，第1y方向動(dòng)力裝置使第1y方向移動(dòng)裝置沿y方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)， 第1y方向移動(dòng)裝置使該運(yùn)動(dòng)板在y方向往復(fù)位移，第2y方向動(dòng)力裝置使第2y方向移動(dòng)裝置在y方向往復(fù)移動(dòng)，第2y方向移動(dòng)裝置使該運(yùn)動(dòng)板在y方向往復(fù)位移。

x方向移動(dòng)裝置包括經(jīng)由軸承可動(dòng)地連結(jié)x方向移動(dòng)板，在x方向移動(dòng)板的下端面，在上方設(shè)有沿著對(duì)準(zhǔn)模塊固定板上的固定板滑槽往復(fù)移動(dòng)的滑軌、和沿著該滑槽往復(fù)移動(dòng)的滑軌。

 

y方向移動(dòng)裝置包括經(jīng)由軸承可移動(dòng)地連結(jié)y方向移動(dòng)板，在y方向移動(dòng)板的下端面，在上方設(shè)有沿著對(duì)準(zhǔn)模塊固定板上的第二固定板滑動(dòng)槽往復(fù)移動(dòng)的滑動(dòng)軌道、和沿著該滑動(dòng)槽往復(fù)移動(dòng)的滑動(dòng)軌道。

 

第二y方向移動(dòng)裝置具備經(jīng)由軸承可移動(dòng)地連結(jié)第二y方向移動(dòng)板，在第二y方向移動(dòng)板的下端面，在上方設(shè)有沿著對(duì)準(zhǔn)模塊固定板上的第三固定板滑動(dòng)槽往復(fù)移動(dòng)的滑動(dòng)軌道、和沿著該滑動(dòng)槽往復(fù)移動(dòng)的滑動(dòng)軌道。

 

x方向動(dòng)力裝置包括電機(jī)和固定連接于該電機(jī)的偏心輪，該偏心輪與x方向移動(dòng)板之間由彈簧連接，消除了該偏心輪與x方向移動(dòng)板之間的間隙。

 

y方向動(dòng)力裝置包括電機(jī)和固定連接在該電機(jī)上的偏心輪，該偏心輪與y方向移動(dòng)板之間通過(guò)彈簧連接，該彈簧消除偏心輪與y方向移動(dòng)板之間的間隙。

 

第二y方向動(dòng)力裝置包括電動(dòng)機(jī)和固定連接在該電動(dòng)機(jī)上的偏心輪，該偏心輪與第二y方向移動(dòng)板之間通過(guò)彈簧連接，該彈簧消除偏心輪與第二y方向移動(dòng)板之間的間隙。