詳細(xì)介紹
減壓閥(壓力調(diào)節(jié)器) 高純度工藝氣體用 AP/SL/AP/AZ
![]() | ?適合半導(dǎo)體等需要供給高潔凈度氣體的行業(yè)。 ?主體材質(zhì)為SUS316L二次熔煉或SUS316L。 ?接觸氣體部分經(jīng)過電解研磨處理。 ?外部金屬密封構(gòu)造。 |
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其他資料 |
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系列 | 形式 | 用途 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
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AP/SL | 一段式 | 管路用(小型) | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' |
AP/SL | 一段式 | 管路用 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP/SL | 一段式 | 大宗氣體用 | SUS316L | 面密封接頭 管焊接 | 1/2'',3/4'',1'' |
AP/SL | 一段式 | 一次側(cè)高壓用 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP/SL | 一段式 | 負(fù)壓調(diào)節(jié) | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP | 二段式 | 一次側(cè)高壓用 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' |
AZ | 一段式 | 管路用 | SUS316L | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AZ | 一段式 | 一次側(cè)高壓用 | SUS316L | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AZ | 一段式 | 負(fù)壓調(diào)節(jié) | SUS316L | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
減壓閥(壓力調(diào)節(jié)器) 高純度工藝氣體用AP/SL/AP/AZ
系列 | 下載 |
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AP/SL | |
AP/SL | |
AP/SL | |
AP/SL | |
AP/SL | |
AP | |
AZ | |
AZ | |
AZ | |
減壓閥(壓力調(diào)節(jié)器)/背壓閥 一般氣體用 AK/BP
![]() | ?從半導(dǎo)體到一般行業(yè)都可使用的標(biāo)準(zhǔn)型。 ?主體材質(zhì)可根據(jù)流體選擇SUS316或黃銅。 |
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其他資料 |
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系列 | 型號(hào) | 用途 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
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AK | 一段式 | 氣路用 | SUS316 或黃銅 | NPT內(nèi)螺紋 卡套式接頭 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AK | 一段式 | 一次側(cè)高壓用 | SUS316 或黃銅 | NPT內(nèi)螺紋 卡套式接頭 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AK | 一段式 | 負(fù)壓調(diào)節(jié) | SUS316 或黃銅 | NPT內(nèi)螺紋 卡套式接頭 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AK | 二段式 | 一次側(cè)高壓用 | SUS316 或黃銅 | NPT內(nèi)螺紋 卡套式接頭 | 1/4'' |
BP | 背壓閥 | ― | SUS316 或黃銅 | NPT內(nèi)螺紋 卡套式接頭 | 1/4'' |
減壓閥(壓力調(diào)節(jié)器)/背壓閥 一般氣體用AK/BP
系列 | 下載 |
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AK | |
AK | |
AK | |
AK | |
BP | |
膜片閥 高純度工藝氣體用 AP
![]() | ?用于半導(dǎo)體等需要高潔凈度氣體的行業(yè)。 ?可作為氣體的切斷閥使用。 ?接觸氣體部分無彈簧,驅(qū)動(dòng)部也使用膜片隔離,因此減小了氣路的死區(qū),抑制了粒子的產(chǎn)生。 |
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其他資料 |
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系列 | 形式 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
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AP | 氣控型 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP | 小型 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
膜片閥 高純度工藝氣體用AP
系列 | 下載 |
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AP | |
AP | |
隔膜閥 高純度工藝氣體用 AZ
![]() | ?用于精密洗凈及潔凈室組裝。 ?全部產(chǎn)品均經(jīng)過了氦氣泄漏檢測。 ?符合SEMI規(guī)格 ?采用方便作業(yè)的鍛造主體。 |
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其他資料 |
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系列 | 形式 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
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AZ | 氣控型 | SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
AZ | 手動(dòng)型 | SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
隔膜閥 高純度工藝氣體用AZ
系列 | 下載 |
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AZ | |
AZ | |
單向閥/真空發(fā)生器/流量開關(guān) AP
![]() | [單向閥] ?防止背壓使流體逆流。 ?構(gòu)造簡單,內(nèi)部的可動(dòng)零部件僅為O形圈。 ?采用無彈簧的構(gòu)造,可減少因震顫等產(chǎn)生的顆粒,降低下游的壓力變動(dòng)。 [真空發(fā)生器] ?真空發(fā)生器。 ?用于更換氣罐時(shí),排出配管中殘余的氣體。 [流量開關(guān)] ?檢測配管破裂等造成的過剩流量。 |
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![](https://img77.jc35.com/ca7ba1f0caefaac75a98ce765218fb7aa26ee7736c4504b2f36cce2232cb5978a816584c636f5ad4.jpg)
其他資料 |
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系列 | 形式 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
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AP | 單向閥 | SUS316L二次熔煉 | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'',3/8'' |
AP | 真空發(fā)生器 | SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'',3/8'' |
AP | 流量開關(guān) | SUS316L二次熔煉 SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/2'',3/4'' |
單向閥/真空發(fā)生器/流量開關(guān)AP
系列 | 下載 |
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AP | |
AP | |
AP | |
膜片閥 一般氣體用 AK
![]() | ?全系列的配管連接均可選擇Rc, R或NPT。 ?從半導(dǎo)體到一般行業(yè)都可使用的標(biāo)準(zhǔn)型。 ?可用于精密洗凈。 ?降低執(zhí)行器的高度,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的小型、輕量化(AK3542, 4542)。 ?操做通口為M5螺紋(AK3542, 4542)。 ?手輪構(gòu)造經(jīng)過改良、實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品的小型、輕量化(AK3652, 4652)。 ?采用有凹凸的圓形手輪,更便于操作和確認(rèn)(AK3652, 4652)。 |
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![](https://img77.jc35.com/ca7ba1f0caefaac75a98ce765218fb7aa26ee7736c4504b2f36cce2232cb5978a816584c636f5ad4.jpg)
其他資料 |
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系列 | 形式 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
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AK | 氣控型 | SUS316 | 卡套式接頭 Rc, R, NPT | 1/4'',3/8'' |
AK | 手動(dòng)型 | SUS316 | 卡套式接頭 Rc, R, NPT | 1/4'',3/8'' |
膜片閥 一般氣體用AK
系列 | 下載 |
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AK | |
AK | |
減壓閥/一般氣體用 AK1000T
![]() | ?從半導(dǎo)體到一般行業(yè)均可使用的標(biāo)準(zhǔn)型。 ?產(chǎn)品體型小、重量輕。 質(zhì)量:0.52kg、高:97.5mm。 ?內(nèi)部容積小,其體積存量少。 ?配管擴(kuò)展品 可從壓縮接頭、NPT內(nèi)螺紋、Rc螺紋中選擇。 |
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![](https://img77.jc35.com/ca7ba1f0caefaac75a98ce765218fb7aa26ee7736c4504b2f36cce2232cb5978a816584c636f5ad4.jpg)
其他資料 |
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系列 | 形式 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
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AK1000T | 手動(dòng)型 | SUS316 | 壓縮接頭 Rc, NPT | 1/4'',3/8'' |
減壓閥/一般氣體用AK1000T
系列 | 下載 |
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AK1000T | |