VTC-100PA-I真空旋轉(zhuǎn)涂膜機-沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司

產(chǎn)品簡介：VTC-100PA-I真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。設(shè)備標(biāo)配兩個不同大小的真空吸盤，可根據(jù)樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤。VTC-100PA-I真空旋轉(zhuǎn)涂膜機工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上，該設(shè)備可儲存12組程序，每組程序包含6個運行階段。不同運行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同，使設(shè)備緩慢提升速度*限速度，有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜，且不會過多浪費，節(jié)約材料。VTC-100PA-I真空旋轉(zhuǎn)涂膜機具有操作簡單、清理方便，體積小巧等優(yōu)點，主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實驗室中進(jìn)行薄膜的生成過程。

產(chǎn)品名稱	VTC-100PA-I真空旋轉(zhuǎn)涂膜機
產(chǎn)品型號	VTC-100PA-I
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設(shè)備配有進(jìn)出水口 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地。 3、氣：不需要 4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kgs以上 5、通風(fēng)裝置：需要
主要特點	1、真空吸附方式固定樣件，操作簡便。 2、真空度可以達(dá)到-0.08MPa。 3、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動或飛片。 4、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單。 5、電機采用24V直流無刷電機，可靠性高，適應(yīng)性強，維修與保養(yǎng)簡單，噪音低，震動小，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，啟動快速穩(wěn)定，加速后運行平穩(wěn)，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。 6、采用無油雙杠真空泵，體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護(hù)方便、不會污染環(huán)境等優(yōu)點。 7、腔體采用聚丙烯材質(zhì)，使用壽命更長，提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能；機身采用鑄鋁結(jié)構(gòu)，結(jié)實耐用且質(zhì)輕。 8、可在惰性氣體氣氛（如Ar、N₂）下進(jìn)行涂層。 9、全英文操作系統(tǒng)。 10、具有開蓋保護(hù)功能，當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時打開上蓋后機器立刻迅速減速直到停止。 11、控制界面采用液晶顯示屏+單板機控制系統(tǒng)，數(shù)值顯示更直觀可靠。
技術(shù)參數(shù)	1、電源：220V 50HZ 2、電機功率：350W/24V 3、速度范圍：500rpm-10000rpm 4、程序運行：可儲存12組程序，每組程序包含6個運行階段，每段時間范圍：0—60s。 5、增減速率設(shè)置范圍：100rpm/s-2000rpm/s 6、本機可選配加熱功能：1.VTC-100PA-II：RT-200℃的，整個腔體及吸盤都采用聚四氟乙烯材質(zhì)，更耐高溫與腐蝕。 2.VTC-100PA-I：RT-100℃的，吸盤采用聚四氟乙烯材質(zhì)，上蓋及水槽采用聚丙烯材質(zhì) 3.溫度使用獨立的控制器，與主機程序控制無關(guān)聯(lián)
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：450mm×280mm×340mm；重量：20kg
標(biāo)準(zhǔn)配件	1	真空吸盤（含O型圈）	2個（Ø19mm和Ø60mm）
	2	中心定位器（含4個定位柱）	1個
	3	滴膠注射器（20ml）	1個
	4	注射器支架	1個
	5	無油真空泵	1臺
	6	橡膠管（含卡箍）	1根
可選配件	進(jìn)口移液器國產(chǎn)移液槍其它尺寸的真空吸盤