VTC-100PA-DC真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)-沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：VTC-100PA-DC真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤(pán)、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。設(shè)備標(biāo)配兩個(gè)不同大小的真空吸盤(pán)，可根據(jù)樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤(pán)。VTC-100PA-DC真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)工作時(shí)利用真空盤(pán)吸附的方式將樣品固定在載樣盤(pán)上，該設(shè)備可儲(chǔ)存12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同，使設(shè)備緩慢提升速度*限速度，有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜，且不會(huì)過(guò)多浪費(fèi)，節(jié)約材料。VTC-100PA-DC真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡(jiǎn)單、清理方便，體積小巧等優(yōu)點(diǎn)，主要應(yīng)用于各大專(zhuān)院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過(guò)程。

產(chǎn)品名稱	VTC-100PA-DC真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)
產(chǎn)品型號(hào)	VTC-100PA-DC
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設(shè)備配有進(jìn)出水口 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地。 3、氣：不需要 4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kgs以上 5、通風(fēng)裝置：需要
主要特點(diǎn)	1、真空吸附方式固定樣件，操作簡(jiǎn)便。 2、真空度可以達(dá)到-0.08MPa。 3、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。 4、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤(pán)，且更換方便簡(jiǎn)單。 5、電機(jī)采用24V直流無(wú)刷電機(jī)，可靠性高，適應(yīng)性強(qiáng)，維修與保養(yǎng)簡(jiǎn)單，噪音低，震動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，啟動(dòng)快速穩(wěn)定，加速后運(yùn)行平穩(wěn)，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。 6、采用無(wú)油雙杠真空泵，體積小巧、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作容易、維護(hù)方便、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。 7、腔體采用聚丙烯材質(zhì)，使用壽命更長(zhǎng)，提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開(kāi)裂性能；機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu)，結(jié)實(shí)耐用且質(zhì)輕。 8、可在惰性氣體氣氛（如Ar、N₂）下進(jìn)行涂層。 9、全英文操作系統(tǒng)。 10、具有開(kāi)蓋保護(hù)功能，當(dāng)涂膜過(guò)程中或涂膜結(jié)束時(shí)打開(kāi)上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止。 11、控制界面采用液晶顯示屏+單板機(jī)控制系統(tǒng)，數(shù)值顯示更直觀可靠。
技術(shù)參數(shù)	1、電源：220V 50HZ 2、電機(jī)功率：350W/24V 3、速度范圍：500rpm-10000rpm 4、程序運(yùn)行：可儲(chǔ)存12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段，每段時(shí)間范圍：0—60s。 5、增減速率設(shè)置范圍：100rpm/s-2000rpm/s 6、本機(jī)可選配加熱功能：1.RT-200℃的，整個(gè)腔體及吸盤(pán)都采用聚四氟乙烯材質(zhì)，更耐高溫與腐蝕。 2.RT-100℃的，吸盤(pán)采用聚四氟乙烯材質(zhì)，上蓋及水槽采用聚丙烯材質(zhì) 3.溫度使用獨(dú)立的控制器，與主機(jī)程序控制無(wú)關(guān)聯(lián)
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：450mm×280mm×340mm；重量：20kg
標(biāo)準(zhǔn)配件	1	真空吸盤(pán)（含O型圈）	2個(gè)（Ø19mm和Ø60mm）
	2	中心定位器（含4個(gè)定位柱）	1個(gè)
	3	滴膠注射器（20ml）	1個(gè)
	4	注射器支架	1個(gè)
	5	無(wú)油真空泵	1臺(tái)
	6	橡膠管（含卡箍）	1根
可選配件	進(jìn)口移液器國(guó)產(chǎn)移液槍其它尺寸的真空吸盤(pán)