VTC-200-4P噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機,勻膠機-沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司

產(chǎn)品簡介：VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂膜機、勻膠機、顯影機、甩膠機、旋涂儀、spin coater主要用于半導(dǎo)體工藝、制版工藝過程中圖形的顯影及表面涂覆工藝，是一款上蓋可以加熱的勻膠機、顯影機，在勻膠或顯影過程結(jié)束后使用加熱功能使膠體薄膜中的溶劑繼續(xù)蒸發(fā)到含量低。工作過程中顯影液或膠體以霧狀噴到樣片上，使溶液在樣片表面均勻分布，有利于薄膜和顯影過程的順利進行。本機電機部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨立電源進行控制，電機調(diào)速系統(tǒng)則采用了抗干擾性高的PLC進行控制，轉(zhuǎn)數(shù)在100-2000RPM范圍內(nèi)可調(diào)。涂膜機在工作時設(shè)有兩個階段，在啟動前根據(jù)實際需要進行設(shè)置。VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機、勻膠機、甩膠機、旋涂儀、顯影機、spin coater啟動快速、轉(zhuǎn)數(shù)穩(wěn)定，可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。對于樣件的固定，采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板，不僅樣件取放自如，而且操作簡便。此外，在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減震措施，降低運轉(zhuǎn)時的噪音。

產(chǎn)品型號	VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機、勻膠機、顯影機、甩膠機、旋涂儀、spin coater
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設(shè)備配有進出水口 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地。 3、氣：不需要 4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kgs以上 5、通風(fēng)裝置：需要
主要特點	1、采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板固定樣件，不僅樣件取放自如，而且操作簡便；橡膠吸盤和磁力鋼片模板大小可根據(jù)需要進行定制。 2、該機上蓋具有紅外加熱功能，可以使溫度保持在一個穩(wěn)定值。 3、本機上蓋具有4組噴嘴，可使膠體以霧狀噴在樣片表面，使薄膜更均勻。 4、電機部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨立電源的方式，電機調(diào)速系統(tǒng)則采用了抗干擾性高的PLC進行控制，數(shù)值顯示更直觀可靠，轉(zhuǎn)數(shù)在100-2000RPM內(nèi)可調(diào)。 5、涂膜機在工作時設(shè)有兩個階段，在啟動前根據(jù)實際需要，可分別進行時間1、轉(zhuǎn)速1、時間2、轉(zhuǎn)速2的設(shè)置。設(shè)置完成啟動后，涂膜機先以轉(zhuǎn)速1在時間1時間內(nèi)運轉(zhuǎn)，使涂膜物質(zhì)逐漸分散開。當時間1時間結(jié)束時，涂膜機自動進入時間2時間階段運轉(zhuǎn)，使涂膜物質(zhì)更加均勻。 6、噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機啟動快速、轉(zhuǎn)數(shù)穩(wěn)定，可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。 7、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減震措施，降低運轉(zhuǎn)時的噪音。 8、腔體采用聚丙烯材質(zhì)，使用壽命更長，提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能；機身采用鑄鋁結(jié)構(gòu)，結(jié)實耐用且質(zhì)輕。
技術(shù)參數(shù)	1、電源：AC220/110V、50/60Hz 2、電機功率：功率210W 3、雙轉(zhuǎn)速涂膜功能:雙轉(zhuǎn)速及涂膜時間分別設(shè)置，在啟動后先低速運轉(zhuǎn)(滴涂膠液)，然后自動轉(zhuǎn)換到高速運轉(zhuǎn)(勻膠)。轉(zhuǎn)速穩(wěn)定（±1%），涂膜物質(zhì)均勻。轉(zhuǎn)數(shù)1：100-2000 RPM有效時間1：1--200s有效轉(zhuǎn)數(shù)2：100-2000 RPM有效時間2：1--200s有效 4、適用于Φ153mm樣件涂膜。 5、上蓋加熱溫度范圍：0-100℃。 6、環(huán)境溫度5-40℃，相對濕度不大于85%RH,設(shè)備周圍無強烈震源和腐蝕氣體影響。
規(guī)格尺寸	主機外形尺寸500mm（長）×410mm（寬）×330mm（高），重量24Kg。
標準配件	1	磁性鋼片模板（Ф160mm）	1件
	2	吸盤(Ф153mm)	1件
	3	溫控箱	1臺
	4	蠕動泵	6臺
可選配件	橡膠吸盤磁力鋼片模板（可定制）