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當(dāng)前位置：沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司>>真空泵組>> SKCC-ZZB-X高真空磁控濺射永磁靶頭（自旋轉(zhuǎn)靶頭）
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌 沈陽科晶/KEJING
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地
聯(lián)系方式：張先生查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2021-03-15 12:43:43瀏覽次數(shù)：187次
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產(chǎn)品簡介：SKCC-ZZB-X高真空磁控濺射永磁靶頭（自旋轉(zhuǎn)靶頭）適用靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶或磁性/非磁性靶材。配裝有環(huán)形永磁體在靶頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。可與DC或RF電源配合使用。
產(chǎn)品型號(hào) | SKCC-ZZB-X（高真空磁控濺射自旋轉(zhuǎn)靶頭） |
產(chǎn)品規(guī)格 | 2寸，SKCC-ZZB-2 3寸，SKCC-ZZB-3 4寸，SKCC-ZZB-4 5寸，SKCC-ZZB-5 6寸，SKCC-ZZB-6 7寸，SKCC-ZZB-7 |
主要特點(diǎn) | 1、轉(zhuǎn)靶帶擋板（可電動(dòng)控制，可手動(dòng)控制）； 2、采用電磁場(chǎng)的有元計(jì)算法來設(shè)計(jì)永磁體，以得到較高的磁場(chǎng)強(qiáng)度和均勻分布； 3、轉(zhuǎn)靶轉(zhuǎn)速5~60轉(zhuǎn)/分可調(diào)； 4、標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配。 5、安裝采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭，便于操作。 6、靶材更換較為簡單，無需調(diào)整濺射頭的高度。 |
配套電源 | 1、直流DC；2、射頻RF |
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