產品型號

小型超高真空插板閥

主要用途

此系列閥門分為手動、氣動兩種驅動方式，在結構設計上合理，在外形上美觀，并具有動作平穩(wěn)、體積小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優(yōu)點，能廣泛應用于超高真空設備中

產品特點

 軸封為波紋管密封，無潤滑劑設計；

 閥體材料為不銹鋼，整體剛性好，體積小，外形美觀；

采用雙導軌軸承滾輪機構，運動平穩(wěn)；閥板內整體式結構，支撐力均勻。

主要參數(shù)

適用范圍：

1×10^-6Pa～1.2×10⁵Pa
打開時插板上的壓差：

≤3×10³Pa任意方向

閥體和閥座漏率：

1.3×10^-7Pa·L·s^-1

建議*維修前循環(huán)次數(shù)：

10，000次

閥體烘烤溫度：

打開時≤200℃；關閉時≤150℃

安裝位置：

任意

電源：

-氣動驅動：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W

（除了上述規(guī)格外，特殊規(guī)格可定做）

壓縮空氣（只適用于氣動）

0.4～0.7MPa

閥門開啟或關閉時間

-氣動驅動： ≤3s；

閥門位置指示

-手動驅動：帶有啟閉位置指示（機械式）

-氣動驅動：帶有啟閉位置指示開關（磁性開關）

規(guī)格尺寸