主動式氣動懸掛系統(tǒng)MAPS系列

MAPS可以消除無源系統(tǒng)無法消除的頻帶寬度的振動。

單元式主動隔振器

業(yè)務領域

對于半導體

特征：

盡管MAPS具有緊湊的尺寸，但它可以隔離六個自由度的振動

Meiritz提供的MAPS系列的每個單元都有兩個氣壓執(zhí)行器：一個用于垂直，另一個用于水平。

使用MAPS，您可以體驗出色的隔振，抑制振動和精確定位的性能。

MAPS可以消除無源系統(tǒng)無法消除的頻帶寬度的振動。

由于固有頻率引起的諧振經(jīng)常會在無源隔離系統(tǒng)中引起麻煩。共振使振動的幅度增加三倍或更多。但是可以通過使用MAPS消除共振。在此頻率范圍內(nèi)可以獲得出色的隔離性能。例如，與大多數(shù)無源隔離系統(tǒng)相比，可以將典型無源隔離系統(tǒng)諧振附近的2Hz振動消除到小于1 / 30-1 / 100。

可以通過標準類型的MAPS將10噸或以上的設備與振動隔離開

最近的精密機器顯示出由于功能實現(xiàn)而變得更大的趨勢。有些設備的總重量已經(jīng)超過10噸。由于裝置的擴大，難以保持裝置的結構固有頻率高。這是為什么需要在低頻下具有優(yōu)異性能的主動隔振系統(tǒng)的原因之一。

即使攜帶可以在舞臺上工作的設備，也可以保持穩(wěn)定。

例如，如果某個設備具有通過XY位移臺進行的某些移動，則該設備會以較大的幅度擺動，并且

在無源隔離系統(tǒng)（如空氣固定架或橡膠固定架）上的振動會增大。可以在主動隔振

器上減小擺幅，因為它受到反饋控制，以保持位置穩(wěn)定。并且，如果可以將臺架的運動預先輸出為電信號，則可以得到幾乎不擺動的環(huán)境，因為可以對MAPS進行前饋控制，使得擺動可以變得最小。

MAPS在精確定位和精確水平方面非常出色。

當設備的尺寸變大時，傾斜也會引起麻煩。由于其笨重，它在傾斜時會傾斜和下垂，并且精度會受到顯著影響。MAPS使傾角變小，并且可以保持精度處于良好狀態(tài)。例如，MAPS使晶圓或LCD面板的順利交付成為可能。

所有類型的MAPS都易于安裝。

我們聽取客戶的要求，并把所有必要的功能擠在MAPS系列中。安裝MAPS只需很小的空間，并且您可以得到不受振動影響的環(huán)境。由于MAPS系列的控制系統(tǒng)非常穩(wěn)定，因此我們不僅可以作為工廠的設備，而且可以作為待售產(chǎn)品的附件來自信地處理MAPS系列。

MAPS是組成精密設備的重要部分之一。

似乎有很多客戶僅從焦慮到振動都使用隔振裝置。當當今進行高精度，高性能和大型化時，必須具有不受振動影響的環(huán)境，才能顯示出規(guī)格表中所述器件的全部性能。隔振裝置是構成精密機械系統(tǒng)而不是輔助裝置的部件之一。

開始開發(fā)時與我們聯(lián)系。

MAPS系列具有隔振，定位和校平所需的所有功能。而且不需要很大的安裝空間。即使在完成設備開發(fā)之后，

MAPS仍可以組裝到設備中。但是，在這種情況下，經(jīng)常會出現(xiàn)各種限制。從隔振性能和成本角度來看，這都不是一個好方法。當開始開發(fā)新設備時，我們想聽聽您對設備的想法，并希望就MAPS的安裝空間，隔振性能和定位精度進行必要的安排。通過采用我們建議的這種方式，可以將您的振動環(huán)境吸引到理想狀態(tài)。

仕様