詳細介紹
主動式氣動懸掛系統(tǒng)MRZ系列
主動式氣動懸掛系統(tǒng)
基于MAPS系列,我們開發(fā)了高性能,合理的主動式氣動懸架系統(tǒng)MRZ系列!
業(yè)務領域
用于測量
對于半導體
特征
應用領域
FPD ?半導體醫(yī)師設備,電子顯微鏡,UHV-SPM,量測機,超精密切割機等
六個自由度的主動隔振
每個單元都有兩個氣壓執(zhí)行器:垂直和水平,并具有出色的隔振,抑制振動和精確定位的性能。
FB + FloorFF控制
FB:反饋
FloorFF:地板前饋
StageFF:舞臺前饋(選件)
「輕巧緊湊」「節(jié)省電力」「合理價格」!
實現(xiàn)輕巧緊湊,省電,價格合理。
日本第5457821號
- 規(guī)格
類型 | MRZ-200 | MRZ-330 | MRZ-520 |
---|---|---|---|
每4個單位的有效載荷范圍[kg] | 1,500?4,400 | 4,000?12,800 | 10,000?32,000 |
單位尺寸W×D×H [mm] | 324x252x191 | 504x404x191 | 694x594x191 |
單位質量[kg /單位] | 34 | 60 | 110 |
供給氣壓[MPa] | 0.6?0.8(清潔干燥空氣) | ||
典型耗氣量[l / min] | 45?65 | 120?170 | |
耗氣量[l / min] | 120 | 300 | |
電源電壓[V] | 100?240(單相AC,50 / 60Hz) | ||
功耗[VA] | 120 | ||
環(huán)境溫度[℃] | 0?40 | ||
相對濕度[%RH] | 35?85 | ||
隔振方法 | 氣壓控制隔振 | ||
控制器尺寸[mm] | W435xD300xH118 | ||
控制器質量[kg] | 7.5 |