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    工作站式主動隔振系統(tǒng)ME40-D系列

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    更新時間:2021-07-29 15:36:19瀏覽次數(shù):329

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    產(chǎn)品簡介

    工作站式主動隔振系統(tǒng)ME40-D系列緊湊的機身具有六個自由度的主動隔離機構近年來,納米技術領域取得了長足的進步,因此,客戶的需求也在不斷發(fā)展。ME40系列在這個不斷變化的領域中是可靠的合作伙伴,能夠通過限度地提高高精度和高分辨率精密儀器的性能來滿足您的納米技術需求。緊湊的機身具有六個自由度的主動隔離機構,可產(chǎn)生超越傳統(tǒng)被動隔振系統(tǒng)功能的理想振動環(huán)境。......

    詳細介紹

    工作站式主動隔振系統(tǒng)ME40-D系列


    緊湊的機身具有六個自由度的主動隔離機構

    近年來,納米技術領域取得了長足的進步,因此,客戶的需求也在不斷發(fā)展。ME40系列在這個不斷變化的領域中是可靠的合作伙伴,能夠通過限度地提高高精度和高分辨率精密儀器的性能來滿足您的納米技術需求。緊湊的機身具有六個自由度的主動隔離機構,可產(chǎn)生超越傳統(tǒng)被動隔振系統(tǒng)功能的理想振動環(huán)境。


    業(yè)務領域

    用于顯微鏡

    用于測量

    用于表面分析


    特征

    六個自由度的主動隔振

    該系統(tǒng)可以在三個維度(六個自由度)上控制振動,同時連續(xù)監(jiān)控裝載臺的振動。這是通過使用集成的執(zhí)行器為測量的振動提供相反的相位信號來完成的。

    多種尺寸選擇

    我們提供四種尺寸-兩種臺式機和兩種工作站。對于臺式機類型,將阻尼鋁板用作裝載臺,而將鋼蜂窩光學臺面用于工作站類型。

    自動主動控制和水平調節(jié)

    我們最初開發(fā)的控制系統(tǒng)優(yōu)化了增益控制,這是主動隔振的重要組成部分。

    (請注意,在某些情況下,取決于安裝環(huán)境或ME40系列是否與可移動儀器(如高精度工作臺)一起使用,自動控制可能不起作用。)

    僅需單個電源即可運行

    運行ME40系列需要的就是電源。不需要來自壓縮機或其他裝置的空氣供應,使您可以在任何地方使用ME40系列。

    應用領域

    精密測量和處理儀器,例如掃描探針顯微鏡(SPM),共聚焦激光顯微鏡,干涉儀系統(tǒng),3D配置測量設備和位移計系統(tǒng)


    • 規(guī)格
    項目/型號ME40-0806DME40-1007D
    主動控制范圍0.5Hz?100Hz(100Hz以上的被動控制)
    自動機構主動控制調整,水平調整
    狀態(tài)顯示在前LCD控制面板上
    荷重(kg)200200
    工作臺尺寸(mm)800×6001000×750
    機器尺寸(mm)※※890×690×7001090×840×700
    機器重量(kg)155190
    公用事業(yè)電源(100V-240V,交流單相,50 / 60Hz)
    標準配件使用說明書,電源線(3m)
    選項我們可以在頂面上提供水龍頭孔。
    請詳細與我們聯(lián)系。

    ※載荷均勻分布
    ※※不包含突起物。
    還提供專用的隔音棚和臺式機機架。請與我們聯(lián)系以獲取有關這些產(chǎn)品的更多信息。


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