詳細(xì)介紹
氣動(dòng)隔振系統(tǒng)AP-MKH系列
高性能低頻固有頻率單元型隔振器,可用于有運(yùn)動(dòng)質(zhì)量的設(shè)備
AP-MKH系列是Meiritz在無(wú)源單元型隔振器中的產(chǎn)品,具有改善的隔離性能和各種有用的功能。
業(yè)務(wù)領(lǐng)域
用于測(cè)量
對(duì)于半導(dǎo)體
規(guī)格
- 主な仕様
模型 | AP-230MKH | AP-270MKH | AP-330MKH |
---|---|---|---|
固有頻率 | 垂直:1.5?2.0Hz /水平:0.7?1.0Hz | ||
隔振 方法 | 空氣懸架 | ||
阻尼方式 | 孔板傾倒 | ||
調(diào)平方法 | 自動(dòng)找平科研空氣閥 (定位公差:±100μm) | ||
尺寸 (寬×深×高mm) | 320×320×325 | 320x320x325 | 370×370×325 |
質(zhì)量(kg /單位) | 54 | 64 | 81 |
有效載荷(kg / 4units) | 6200 | 8600 | 13000 |
軸B(mm) | 290x290 | 290x290 | 340x340 |
ΦC(毫米) | 13 | 13 | 13 |
供給氣壓(MPa) | 0.5MPa (氣源:通過(guò)空氣壓縮機(jī)壓縮的空氣, 釋放工廠的空氣或液氮?dú)怏w的管道) |