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詳細(xì)介紹
• 世界自動(dòng)化且精度高的測量顯微鏡(小顯示分辨力0.01um)。
• 主機(jī)的前臺(tái)操作設(shè)計(jì)是基于UD( 通用化設(shè)計(jì))的理念。
• 配備三軸電動(dòng)前置控制手柄，這使傳統(tǒng)的顯微鏡操作有了全新的變化，即使在快速運(yùn)動(dòng)的過程中也能進(jìn)行精細(xì)定位。
• 用戶可選擇傳統(tǒng)的顯微鏡光學(xué)管路或帶內(nèi)置激光自動(dòng)對(duì)焦功能的光學(xué)管路，其觀察方法多種多樣，提高了測量工作的效率。
• 行程為250×150mm 的大工作臺(tái)可為大工件的測量提供足夠的空間。
• 使用高精度低熱膨的玻璃光柵尺和高分辨力的讀數(shù)頭。
• 的數(shù)據(jù)處理裝置QM-Data200 和Vision Unit可結(jié)合使用，提供有效且穩(wěn)定的測量環(huán)境。
• 晶片夾持器(可用于小于8" 的晶片) 和高硬度中心支架滿足高精度測量的需求。
• 電動(dòng)轉(zhuǎn)塔型擁有回縮功能，該功能在更換物鏡時(shí)啟動(dòng)工作。
• 轉(zhuǎn)塔、物鏡和照明裝置為選件。
Hyper MF-U
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