詳細(xì)介紹
配有多種參數(shù)。評(píng)估型表面粗糙度測(cè)量?jī)x同時(shí)配置分析功能。
● 裝置配備FORMTRACEPAK表面粗糙度/輪廓分析程序。
● 標(biāo)配高分辨率的Z1軸檢出器,高顯示分辨力為0.0001µm(測(cè)量范圍為8µm時(shí))。
● X軸驅(qū)動(dòng)裝置裝配高精度玻璃光柵尺,實(shí)現(xiàn)X軸方向移動(dòng)的高精準(zhǔn)定位。 SV-3200
系列為驅(qū)動(dòng)裝置采用陶瓷導(dǎo)軌以提高抗磨性,延長(zhǎng)使用壽命。
● X軸的分辨力為0.05µm。
● 標(biāo)準(zhǔn)或低測(cè)力檢出器(4mN/0.75mN)的選擇,無(wú)需考慮設(shè)備本體是否有裝配傾斜
裝置。
● Z2軸(立柱)的700mm型上市。
● X軸驅(qū)動(dòng)裝置裝配高精度玻璃光柵尺,實(shí)現(xiàn)X軸方向移動(dòng)的高精準(zhǔn)定位。 SV-3200
系列為驅(qū)動(dòng)裝置采用陶瓷導(dǎo)軌以提高抗磨性,延長(zhǎng)使用壽命。
● X軸的分辨力為0.05µm。
● 標(biāo)準(zhǔn)或低測(cè)力檢出器(4mN/0.75mN)的選擇,無(wú)需考慮設(shè)備本體是否有裝配傾斜
裝置。
● Z2軸(立柱)的700mm型上市。
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