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詳細(xì)介紹
• ULTRA QV404 是實(shí)現(xiàn)了世界測(cè)量精度E1XY=(0.25+L/1000)μm 的高精度CNC 影像測(cè)量系統(tǒng)。
• 為了將直線度誤差控制至小，X、Y、Z3軸移動(dòng)方式采用了高精度三坐標(biāo)等使用的空氣軸承。
• 通過(guò)FEM (有限要素法) 解析后的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了本體的高剛性化。
• 作為基準(zhǔn)的測(cè)長(zhǎng)方式采用了分辨力為0.01μm的光學(xué)式線性編碼器。該編碼器的線性膨脹系數(shù)為零，將溫度變化產(chǎn)生的誤差控制到小限度。
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