超精密三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)　

　
是新一代高精度高速度固定龍門式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。具有完善的測(cè)量精度，全花崗石結(jié)構(gòu)，配備陶瓷Z軸，完善的氣動(dòng)平衡和優(yōu)化的氣浮軸承分布，能夠大限度減少移動(dòng)部件的質(zhì)量。Micro Plus測(cè)量機(jī)集單點(diǎn)探測(cè)和模擬掃描技術(shù)為一體的高性能檢測(cè)設(shè)備，同時(shí)可配制接觸式和非接觸掃描測(cè)。基于新一代高穩(wěn)定性控制系統(tǒng)，并與精度補(bǔ)償系統(tǒng)進(jìn)行結(jié)合與優(yōu)化，加上*的算法，可實(shí)現(xiàn)高速、高精度模擬開環(huán)以及閉環(huán)掃描。

技術(shù)規(guī)格參數(shù)：

產(chǎn)品要點(diǎn)：
1、封閉框架固定龍門式結(jié)構(gòu)
2、工作臺(tái)在底座的燕尾導(dǎo)軌上移動(dòng)
3、Y向?qū)к壥蔷匦位◢徥琙軸采用超精加工陶瓷
4、各軸使用預(yù)載荷空氣軸承
5、測(cè)量系統(tǒng)：HEIDENHAIN 金屬光柵
6、氣動(dòng)可調(diào)節(jié)的主軸平衡系統(tǒng)