“ZCS-QMK1420系列" ，采用氣靜壓工件電主軸、氣靜壓內(nèi)圓砂輪電主軸，氣靜壓外圓砂輪電主軸， X/Z高精度氣浮導(dǎo)軌，以及日本三菱高精度數(shù)控系統(tǒng)，達(dá)到五軸氣浮控制。使整機(jī)達(dá)到圓度0.2um，圓柱度1 um的加工精度。具體技術(shù)參數(shù)如下：

一、技術(shù)特點：

本機(jī)床獲得國家發(fā)明，名稱：一種氣靜壓金屬零部件的內(nèi)或外圓超精密磨床。證書號：ZL 2011 1 0213261.8。

本機(jī)床適用于圓柱外圓、內(nèi)孔、端面，多階圓柱外圓、內(nèi)孔、端面磨削加工。

該磨床采用氣靜壓工件電主軸、氣靜壓內(nèi)圓砂輪電主軸，氣靜壓外圓砂輪電主軸， X/Z高精度氣浮導(dǎo)軌，以及日本三菱高精度數(shù)控系統(tǒng)，達(dá)到五軸氣浮控制。使整機(jī)達(dá)到圓度0.2um，圓柱度1 um的加工精度。

第四軸功能，即在外圓砂輪一側(cè)增加安裝內(nèi)圓磨頭的直線導(dǎo)軌和伺服電機(jī)一套，實現(xiàn)一次裝卡完成內(nèi)外圓加工的功能。

工件采用高精度三爪工件卡盤（或氣動卡盤），高精度氣靜壓等多種安裝方式。

砂輪架進(jìn)給和工作臺移動均采用交流伺服電機(jī)通過高精度滾珠絲杠驅(qū)動。

內(nèi)圓砂輪采用直桿式砂輪桿安裝方式。

工件主軸、砂輪主軸采用臺達(dá)系列變頻控制器實現(xiàn)無級調(diào)速。

該磨床在氣路、水路進(jìn)口處加有壓力傳感器，具有過流、過載、氣壓低于下限、以及冷卻水?dāng)嗔鞯裙收蠄缶Ｗo(hù)功能。并且具有和上位機(jī)通訊功能（RS-485）。

二、整機(jī)主要技術(shù)參數(shù)表