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半導(dǎo)體編帶分選一體機(jī)是一款應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片封裝后道生產(chǎn)，能自動完成芯片外觀及尺寸檢測、電參數(shù)測試、標(biāo)示檢測、分類篩選及編帶包裝等多種功能的一體化設(shè)備。其因高柔性、高速度、高精度、穩(wěn)定性好而被廣泛應(yīng)用。半導(dǎo)體編帶分選一體機(jī)集多種功能于一體，因而需要多軸控制且各個工位高效協(xié)作。

圖 1 半導(dǎo)體編帶分選一體機(jī)

基于gLink-II千兆等環(huán)網(wǎng)的GSHD驅(qū)動器+GSN控制卡整體解決方案，顯著提高設(shè)備精度和速度，它使用GSHD驅(qū)動器的力矩控制功能，控制吸放芯片的下壓力度，防止芯片被壓壞變形，同時可靈活擴(kuò)展工位數(shù)，實(shí)現(xiàn)多工位協(xié)同，并可將驅(qū)動器數(shù)字輸出轉(zhuǎn)換為網(wǎng)絡(luò)控制的輸出接口，提高生產(chǎn)效率。整個系統(tǒng)穩(wěn)定可靠、結(jié)構(gòu)緊湊、接線便捷。

圖 2 GSHD+GSN控制系統(tǒng)方案

系統(tǒng)特點(diǎn)

01高精度

GSHD伺服驅(qū)動器正余弦細(xì)分達(dá)4096，細(xì)分后分辨率26位以上，驅(qū)動DD馬達(dá)可實(shí)現(xiàn)大慣量、高負(fù)載、超高精度應(yīng)用。

02高速度

GSHD伺服驅(qū)動器輸出轉(zhuǎn)矩大，可輕松快速送料，高速高精度控制可達(dá)10ms運(yùn)動90度，穩(wěn)定到位，并支持低壓輸入。

03高效率

該設(shè)備檢測芯片尺寸小于1mm，檢測效率可達(dá)50K/h。

04穩(wěn)定、可靠

GSHD伺服驅(qū)動器力控功能可實(shí)時檢測和控制電流輸出，防止電機(jī)運(yùn)動過沖引起芯片壓壞變形。

圖 3 下定位精度

圖 4 下高速響應(yīng)

圖 5 各下壓工位一周期工作時間

圖 6 驅(qū)動器輸出力矩與位置增量關(guān)系

圖 7 力矩與壓力標(biāo)定

案例總結(jié)

基于gLink-II千兆等環(huán)網(wǎng)的GSHD驅(qū)動器+GSN控制卡整體解決方案提高了設(shè)備速度和精度，驅(qū)動器力控功能令設(shè)備更加穩(wěn)定、可靠。