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廣州市廣科智能技術(shù)有限公司
廣州市廣科智能技術(shù)有限公司
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號SR8652
品 牌
廠商性質(zhì)工程商
所 在 地廣州市
聯(lián)系方式：張建國查看聯(lián)系方式
更新時間：2020-12-10 11:28:31瀏覽次數(shù)：2156次
聯(lián)系我時，請告知來自 機床商務網(wǎng)| 安裝方式 | 落地式 | 產(chǎn)地 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 防護級別 | IP50 | 負載 | 50kg |
| 界面語言 | 中文,英文,日語 | 售后保修期 | 3個月 |
| 銷售區(qū)域 | 全國,華東,華南,華北,華中,東北,西南,西北,港澳臺,海外 | 重量 | 300kg |
| 軸數(shù) | 5軸 |
廣州市廣科智能技術(shù)有限公司擁有SANKYO三協(xié)真空雙臂晶圓搬運機器人，如：三協(xié)真空機器人SR8651、三協(xié)真空機器人SR8652……歡迎全國各地理工機電學院、工廠采購、工業(yè)機器人培訓機構(gòu)洽談，*。
三協(xié)雙臂真空搬運機器人SR8651參數(shù)：
大速度「噪音」(dB)：80 or less
真空度(Pa)：1.33×10-2；
大速度「Z 軸」(㎜/s)：300；
自由度：5-AXIS(all AC-servo controlled)；
大速度「重復精度」(㎜)：+/-0.2；
動作范圍「RR/RL 軸」(㎜)：2400；
動作范圍「Z 軸」(㎜)：250/450；
可動范圍「θ軸」(deg)：+140～-185；
大速度「RR/RL軸」(㎜/sec）：3370；
大速度「θ軸」(rads/s)：2.09；
大速度「基板尺寸」(㎜)：～1100×1300 t=3.1～5.2/～1300×1500 t=0.5～1.1/～1500×925 t=0.5～1.1
?控制器小型輕量化；
?使用了陶瓷手臂來應對高溫環(huán)境；
?足以應對從常溫到高溫的變化；
?降溫系統(tǒng)使三協(xié)真空機器人能應對高溫環(huán)境；
?驅(qū)動單元模塊化、易于維護；
?ARM驅(qū)動部使用了高精度部件和電能回饋結(jié)構(gòu)；
?多達3段的Z軸使高度可動范圍增大；
?R部和機器人本體的分割設計、使其易于保養(yǎng)也易于進入腔體。
三協(xié)真空雙臂晶圓搬運機器人SR8652參數(shù)：
真空度：1.33×10-2；
大速度「基板尺寸」(㎜)：～1500×1850 t=0.5～1.1(LCD)
自由度：5-AXIS(all AC-servo controlled)；
動作范圍「RR/RL 軸」(㎜)：2720；
動作范圍「Z 軸」(㎜)：465(Solar)/670(LCD)；
大速度「Z 軸」(㎜/s)：400；
大速度「θ軸」(rads/s)：2.09；
大速度「重復精度」(㎜)：+/-0.2；
大速度「RR/RL 軸」(㎜/sec)：2474；
大速度「噪音」(dB)：80 or less；
動作范圍「θ軸」(deg)：+140～-185；
大速度「基板尺寸」(㎜)：1100×1300 t=4～5(Solar)；
廣州市廣科智能技術(shù)有限公司擁有大量二手SANKYO三協(xié)真空雙臂晶圓搬運機器人，如：三協(xié)真空機器人SR8651、三協(xié)真空機器人SR8652……歡迎全國各地理工機電學院、工廠采購、工業(yè)機器人培訓機構(gòu)洽談，*。
真空機器人是一種能夠在真空環(huán)境下工作的機器人，主要應用于半導體和液晶工業(yè)中，實現(xiàn)晶圓或玻璃基板在真空腔室內(nèi)的運輸，是負責真空端不同工位間晶圓傳送的關(guān)鍵自動化設備。真空搬運機器人由于不使用氣體真空吸附系統(tǒng)和氣缸等，因此搬運時保持晶圓在機器手上的穩(wěn)定比較困難。因此，此前只能以150～200枚/時的速度搬運晶圓。此次，通過改進保持晶圓穩(wěn)定的真空內(nèi)的夾具，即使高速搬運，機器手上的晶圓也不會錯位。這樣，可大限度發(fā)揮真空機器人的搬運速度。三協(xié)真空機器人可以在10-7 pa的真空環(huán)境下運行。耐溫達200工。此系列真空機器人大部分組件采用不銹鋼或熱膨脹系數(shù)相當?shù)牟⑶页鰵饴实椎牟牧稀?/span>三協(xié)真空雙臂晶圓搬運機器人由輕結(jié)構(gòu)鋼管構(gòu)件、真空吸盤、真空器、電磁控制閥、真空開關(guān)等零部件組成，因此運動控制離合器、連接件和橫拉桿等部件的重量都減輕了不少，這也進一步地提高了三協(xié)真空機器人的運動性能。
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