用于實(shí)現(xiàn)至高精度的測量機(jī)

XENOS可在各類要求高測量精度的領(lǐng)域使用——從科研機(jī)構(gòu)的測量實(shí)驗(yàn)室、航空和航天工業(yè)直至光學(xué)工業(yè)。這一測量機(jī)的測量精度較高，其測量范圍近1立方米。

虛擬驅(qū)動

XENOS于Y軸向配備雙線性驅(qū)動系統(tǒng)，得益于蔡司的驅(qū)動技術(shù)可實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術(shù)可據(jù)X軸位置分布驅(qū)動力。作為控制系統(tǒng)及算法之結(jié)合，這是在整個測量范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測量精度及運(yùn)動穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素

所有軸均采用線性驅(qū)動

XENOS的所有軸均采用線性驅(qū)動。其優(yōu)點(diǎn)：高速、加速極快、定位精度高、驅(qū)動無剪切力影響。結(jié)合超高分辨率光柵尺技術(shù)，XENOS的線性驅(qū)動可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的定位精度。

機(jī)械設(shè)計的創(chuàng)新

XENOS采用了全新的機(jī)械設(shè)計理念。與標(biāo)準(zhǔn)橋式測量機(jī)不同：Y導(dǎo)軌分布于側(cè)壁頂部，分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向移動，更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱真正的優(yōu)勢。更低及恒定的移動重量造就了加速及高速的統(tǒng)一。

電子設(shè)計改進(jìn)

通過全新的電子電路的設(shè)計從而使電路對產(chǎn)品的測量精度明顯提高，

通過計算機(jī)輔助精度修正法（caa）和特殊附加caa修正使的產(chǎn)品測量精度顯著提高并在測量過程中扮演者作用日趨重要