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機器應(yīng)用范圍：玻璃/藍寶石的快速切割和鉆孔及其配套的裂片加工制程，各類脆性材料的切割與蝕刻。
機器應(yīng)用特點： 全自動、無損切割、無塵切割、效率高、無錐度、無崩邊。
機器技術(shù)參數(shù)
| 序號 | 項目 | 技術(shù)參數(shù) |
| 光學(xué)單元 | ||
| 1 | 激光器類型 | 1064nm |
| 2 | 激光功率 | 150~500W可選 |
| 3 | 光束質(zhì)量 | M2<1.3 |
| 4 | 聚焦方式&加工頭數(shù) | 單點聚焦鏡、單頭 |
| 5 | 小聚焦光斑直徑 | Ф10μm |
| 激光加工性能 | ||
| 6 | 加工速度 | 0~300mm/s可調(diào) |
| 7 | 小崩邊 | 30μm |
| 8 | 大加工材料厚度 | 3mm |
| 9 | 大加工尺寸&精度 | 400mm×350mm, ±5μm |
| 機械單元 | ||
| 10 | 機床結(jié)構(gòu) | 龍門式 |
| 11 | 機床運動軸數(shù)&種類 | X，Y, Z軸 |
| 12 | 平臺大行程&速度 | 400mm×350mm,400mm/s可訂制 |
| 13 | 運動平臺重復(fù)精度 | ≤±1μm |
| 14 | 運動平臺定位精度 | ≤±3μm |
| 軟件控制單元 | ||
| 15 | 激光加工&平臺控制 | |
| 16 | 加工文件導(dǎo)入格式 | Dxf |
| 17 | CCD視覺定位軟件 | AISYS Vision |
| 18 | CCD視覺定位精度 | ≤±2μm |
| 電氣單元 | ||
| 19 | PLC控制器 | Panasonic |
| 20 | 真空系統(tǒng) | |
| 21 | 除塵&集塵系統(tǒng) | 離子風(fēng)機 |
| 自動化單元 | ||
| 22 | 自動上下料系統(tǒng) | XZ軸+可移動上下料平臺 |
| 安裝環(huán)境 | ||
| 23 | 整機供電&穩(wěn)壓器功率 | 220V380V |
| 24 | 壓縮空氣壓強 | ≥0.6MPa |
| 25 | 無塵室等級 | |
| 26 | 地面承重 | 1.8T/m2 |
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