詳細(xì)介紹
天然大理石整體機(jī)身機(jī)構(gòu)
緊湊型機(jī)身設(shè)計,不受安裝場地限制
主動隔振系統(tǒng)
氣浮/靜油*承技術(shù)
面形在線測量系統(tǒng)
加工過程監(jiān)控攝像頭
FTS和STS技術(shù)可選
FTS和STS技術(shù)可選
適合于所有有色金屬、晶體加工
加工精度:P-V 100nm(直徑100mm)
RMS 2nm
加工直徑:300mm(350mm可選)
RMS 2nm
加工直徑:300mm(350mm可選)
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