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詳細(xì)介紹
XONOX VT系列立式球面激光干涉儀特點(diǎn)：
---高精密氣浮隔震系統(tǒng)，適合于光學(xué)加工車間現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)
---采用氣浮垂直移動(dòng)導(dǎo)軌，移動(dòng)快速準(zhǔn)確，*大移動(dòng)范圍1200mm，直線度可達(dá)3um
---可選裝經(jīng)濟(jì)型的4寸干涉儀主機(jī)，配置靜態(tài)光圈測(cè)量分析軟件，代替?zhèn)鹘y(tǒng)的樣本檢測(cè)，方便快捷，DIN或ISO測(cè)量結(jié)果顯示。
---配置ZYGO Verifire XPZ 4寸或6寸干涉儀主機(jī)，ZYGO專業(yè)測(cè)量分析軟件，適合更優(yōu)異用戶使用。
---配置線性光柵尺，曲率半徑測(cè)量精度+/-3um；小曲率半徑測(cè)量裝置可選，測(cè)量精度+/-1um（+/-60mm測(cè)量范圍）
---配置XONOX 4+測(cè)量物鏡，*大測(cè)量口徑為130mm，曲率半徑測(cè)量范圍可達(dá)1150mm
---連接上電源與壓縮空氣就可以使用，無需額外配置
詳細(xì)技術(shù)參數(shù)：
| 工作范圍 | 750mm / 1000mm / 1200mm垂直移動(dòng)范圍，測(cè)量口徑130mm或150mm |
| 激光測(cè)量單元 | XONOX Z100 4”菲索干涉儀或ZYGO VeriFire XPZ干涉儀主機(jī)，6倍光學(xué)變焦 |
| 測(cè)量系統(tǒng) | 優(yōu)良測(cè)量，數(shù)字顯示；小半徑特殊測(cè)量裝置（選項(xiàng)） |
| 曲率半徑測(cè)量精度 | +/-1um（根據(jù)所使用的測(cè)量系統(tǒng)） |
| 外形尺寸 | 800X900X1900mm |
| 重量 | 450Kg |
| 電壓 | 110V-220V, 50-60Hz；16A |
| 氣壓 | 6 bar |
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